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一种蓝宝石金刚线多线切片机的切割工艺
| 专利名称： | 一种蓝宝石金刚线多线切片机的切割工艺 |
| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石金刚线多线切片机的切割工艺，包括步骤：（1）将晶棒的圆形截面按轴向分割为距离相等的60～100份；（2）在切片设备程序控制界面依次设置各段圆形截面对应的坐标位置；（3）在切片设备程序控制界面设置每个切割过程正向走线长度和反向走线长度；（4）设置切片设备的金刚线运行速度和运行加速度；（5）设置切片设备的正向进给速度和反向进给速度；（6）设置切片设备的反向进给距离；（7）启动切片设备，进行晶棒切割。本发明针对传统的切割过程中切片设备工件平台做变速向下进给带来的切割过程中排屑不畅的问题，提高蓝宝石晶棒的切割效率的同时保证晶片的切割品质。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 江苏吉星新材料有限公司 |
| 发明人： | 秦光临;李志强;蔡金荣 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-05-22T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-08-30T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910428214.1 |
| 公开号： | CN110181699A |
| 代理机构： | 南京经纬专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 楼高潮 |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5 |
| 申请人地址： | 212200 江苏省镇江市扬中市油坊镇新材料工业园区 |
| 主权项： | 1.一种蓝宝石金刚线多线切片机的切割工艺，其特征在于，包括以下步骤： （1）将晶棒的圆形截面轴向分割为距离相等的60～100份； （2）在切片设备程序控制界面依次设置各段圆形截面对应的坐标位置； （3）在切片设备程序控制界面设置每个切割过程正向走线长度和反向走线长度； （4）设置切片设备的金刚线运行速度和运行加速度； （5）设置切片设备的正向进给和反向进给速度； （6）设置切片设备的反向进给距离； （7）启动切片设备，进行晶棒切割。 2.如权利要求1所述的一种蓝宝石金刚线多线切片机的切割工艺，其特征在于，所述步骤（3）中正向走线长度为600～1000米，反向走线长度为580～980米。 3.如权利要求2所述的一种蓝宝石金刚线多线切片机的切割工艺，其特征在于，所述步骤（3）中正向走线长度大于反向走线长度。 4.如权利要求1所述的一种蓝宝石金刚线多线切片机的切割工艺，其特征在于，所述步骤（4）中运行速度为20～25m/s，运行加速度为5～10m/s2。 5.如权利要求1所述的一种蓝宝石金刚线多线切片机的切割工艺，其特征在于，所述步骤（5）中正向进给速度为0.30～0.80mm/min，反向进给速度为10mm/s。 6.如权利要求1所述的一种蓝宝石金刚线多线切片机的切割工艺，其特征在于，所述步骤（6）中反向进给距离为0.5～0.8mm。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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