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原文传递一种金刚线组合工艺切割硅片的方法

专利名称：	一种金刚线组合工艺切割硅片的方法
摘要：	本发明涉及金刚线切割领域。一种金刚线组合工艺切割硅片的方法，缠绕在主动轮（1）和从动轮（2）之间的金刚线（3）对下压的硅棒（6）进行切割，金刚线（3）的一端为放线端（4）另一端为收线端（5）,主动轮（1）采用0.265mm槽距，金刚线（3）采用母线直径为65μm的金刚线，硅棒（6）切割的整体高度为166mm，通过采用两种切割工艺组合进行硅棒切割。采用本发明切割工艺在满足切割硅棒的同时大量的节省了金刚线的使用。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	山西;14
申请人：	山西潞安太阳能科技有限责任公司
发明人：	王志成;李东东;任崇荣;谷燕铂;杨雪
专利状态：	有效
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201810924167.5
公开号：	CN108995063A
代理机构：	太原市科瑞达专利代理有限公司 14101
代理人：	李富元
分类号：	B28D5/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D5/04
申请人地址：	046000 山西省长治市郊区漳泽新型工业园区
主权项：	1.一种金刚线组合工艺切割硅片的方法，缠绕在主动轮（1）和从动轮（2）之间的金刚线（3）对下压的硅棒（6）进行切割，金刚线（3）的一端为放线端（4）另一端为收线端（5），其特征在于：按照如下的步骤进行步骤一、主动轮（1）采用0.265mm槽距，金刚线（3）采用母线直径为65μm的金刚线，硅棒（6）切割的整体高度为166mm；步骤二、采用第一切割工艺对第一组硅棒进行切割：调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为900m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线600m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线580m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒2mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1200m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线480m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线455m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒7mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线483m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线455m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒6mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线400m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线370m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒45mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线400m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线370m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒40mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线400m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线373m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒20mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线370m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线410m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒1mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线380m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线430m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒24mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线405m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线450m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒5mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线405m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线450m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒4mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线475m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线525m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒3mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线505m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线555m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒3mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1200m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线505m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线555m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒6mm的切割；步骤三、采用第二切割工艺对下一组硅棒进行切割：从放线端（4）到收线端（5）送线1300m，调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为960m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线540m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线490m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒3mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1360m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线540m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线500m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒6mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线535m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线500m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒10mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线535m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线500m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒120mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线535m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线500m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒2mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线535m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线500m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒3mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1500m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线535m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线500m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒9mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1320m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线475m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线530m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒1mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1200m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线475m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线535m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒5mm的切割；重新调整主动轮（1）转速和硅棒（6）下压速率，使金刚线（3）的线速度为1380m/min，首先从放线端（4）到收线端（5）送线475m，然后从收线端（5）到放线端（4）回线530m，在此过程中将硅棒（6）均匀下压，此过程结束后完成对硅棒5mm的切割；步骤四、从放线端（4）到收线端（5）送线2700m，然后采用与步骤二相同的第一切割工艺对下一组硅棒进行切割；步骤五、重复步骤三和步骤四直至所有硅棒切割完毕。
所属类别：	发明专利