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原文传递金刚线切割硅片的方法

专利名称：	金刚线切割硅片的方法
摘要：	本发明涉及一种金刚线切割硅片的方法，包括以下步骤：将粘附有硅块的晶托安装于金刚线线网上方的工作台上；下压工作台，同时导轮带动金刚线运动，对硅块进行切割。技术效果：将往复运动过程中的金刚线的线速度和加速度进行了优化调整，能够减少金刚线的加减速次数，减少金刚线停滞带来的负荷增加，同时，为了保证加减速过程更加平缓，保证稳定性，适当地降低了加速度。通过优化金刚线的线速度和加速度，减少了金刚线的加工时间，从而减少了金刚线停留于硅块和导轮的时间，减少了金刚线在此过程中产生的磨损和形变。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	阜宁协鑫光伏科技有限公司
发明人：	周文广
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-20T00:00:00+0800
申请号：	CN201910578437.6
公开号：	CN110142886A
代理机构：	广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：	唐清凯
分类号：	B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	224400 江苏省盐城市阜宁县经济开发区香港路888号
主权项：	1.一种金刚线切割硅片的方法，其特征在于，包括以下步骤：将粘附有硅块的晶托安装于金刚线线网上方的工作台上；下压工作台，同时导轮带动金刚线运动，对硅块进行切割；其中，所述金刚线的运动过程包括往复段，在所述金刚线处于所述往复段的运动过程中，所述金刚线的线速度为1680m/min-1799m/min、1801m/min-1999m/min或2001m/min-2500m/min，所述金刚线的加速度为2m/s2-3.99m/s2或4.01m/s2-6m/s2。 2.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片的方法，其特征在于，所述硅块的靠近所述工作台的一侧形成有倒角，当所述金刚线切割至所述倒角处时，所述金刚线的线速度下降至1200m/min-1500m/min。 3.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片的方法，其特征在于，所述金刚线的线速度为2001m/min-2100m/min。 4.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片的方法，其特征在于，所述金刚线上金刚石粉的颗粒密度为251粒/mm-349粒/mm。 5.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片的方法，其特征在于，所述金刚线的直径为48μm-52μm。 6.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片的方法，其特征在于，所述金刚线的切割张力为4N-6N。 7.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片的方法，其特征在于，在切割过程中，利用切割液对所述金刚线进行润滑和冷却，其中，所述切割液的浓度为0.5％-0.599％、0.601％-0.999％、1.001％-1.299％、或1.301％-1.5％。 8.根据权利要求7所述的金刚线切割硅片的方法，其特征在于，利用引流板对所述切割液进行引流，其中，所述引流板与所述金刚线线网之间的距离为4mm-5.99mm或6.01-10mm。 9.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片的方法，其特征在于，所述工作台的下压速度为0mm/min-4mm/min。 10.根据权利要求1所述的金刚线切割硅片的方法，其特征在于，所述导轮的槽距为220μm-280μm。
所属类别：	发明专利