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原文传递 硅片线切割方法
专利名称: 硅片线切割方法
摘要: 本发明涉及一种硅片线切割方法,包括:从放线轮向收线轮走线,使收线轮上的金刚线的一部分为旧线,另一部分为新线。从收线轮向放线轮走线,通过新线从零切割位置开始切割硅块。新线切割结束后,将收线轮上的旧线在放线轮和收线轮之间往复走线,使硅块持续向下移动,对硅块继续进行切割。在硅块剩余未切割部分的高度为h时,采用单向走线方式切割剩余硅块。直至金刚线切透所述硅块,其中h为1‑5mm。上述硅片切割方法中,采用新线从零切割位置开始切割硅块以及最后阶段通过单向放线方式切割剩余硅块,都有利于提高硅片的良品率。中间段采用旧线以双向走线方式切割硅块,有利于节约用线。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 江苏;32
申请人: 阜宁协鑫光伏科技有限公司
发明人: 孙信明
专利状态: 有效
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN201810803403.8
公开号: CN108858842A
代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人: 唐清凯
分类号: B28D5/04(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D7;B28D5/04;B28D7/00
申请人地址: 224400 江苏省盐城市阜宁县经济开发区香港路888号
主权项: 1.一种硅片线切割方法,其特征在于,包括:从放线轮向收线轮走线,使收线轮上的金刚线的一部分为旧线,另一部分为新线;从收线轮向放线轮反向走线,利用新线从零切割位置开始切割硅块;新线切割结束后,使硅块持续向下移动,利用来自于收线轮上的旧线在放线轮和收线轮之间往复走线,对硅块继续进行切割;在硅块剩余未切割部分的高度为h时,采用单向走线方式切割剩余硅块,直至金刚线切透所述硅块,其中h为1mm‑5mm。
所属类别: 发明专利
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