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一种采用金刚线的硅片切割液收集装置
| 专利名称： | 一种采用金刚线的硅片切割液收集装置 |
| 摘要： | 本发明提供一种采用金刚线的硅片切割液收集装置，包括：第一收集室；顶流与所述第一收集室的底流流体连通的第二收集室；与所述第二收集室的流体连通的排放管道。针对切割液循环利用的需要，以适合的结构对使用后的切割液进行收集和初步的处理，并且由于具有合理的结构，可避免硅粉的沉积，避免异物、杂质等进入循环管路，且便于清理和维护。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 山东;37 |
| 申请人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 发明人： | 刘千贤;于川东;张蒙蒙 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810601733.9 |
| 公开号： | CN108687982A |
| 代理机构： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 |
| 代理人： | 吴绍群 |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D5/04 |
| 申请人地址： | 257300 山东省东营市广饶县经济开发区綦公路以北、西康路以西 |
| 主权项： | 1.一种采用金刚线的硅片切割液收集装置，其特征在于，包括：第一收集室；顶流与所述第一收集室的底流流体连通的第二收集室；与所述第二收集室的流体连通的排放管道。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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