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一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置
| 专利名称： | 一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置 |
| 摘要： | 本实用新型涉及多晶硅加工设备技术领域，具体涉及一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置，包括加工台、加工台上端安装的切片机和喷液机，所述切片机的下方设有废液收集槽，所述废液收集槽的下端通过进液管贯通连接有回收处理装置，且回收处理装置位于加工台的下端，所述回收处理装置的输出端通过回流管与喷液机相连接。本实用新型克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，有效的解决了切割后的废液无法直接使用，处理需要耗费大量的人力物力，得不偿失，直接排放则会造成资源浪费的问题。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 安徽;34 |
| 申请人： | 安徽华顺半导体发展有限公司 |
| 发明人： | 李广森 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-01-17T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-17T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201920081403.1 |
| 公开号： | CN209794247U |
| 代理机构： | 合肥汇融专利代理有限公司 |
| 代理人： | 张雁 |
| 分类号： | B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5 |
| 申请人地址： | 239300 安徽省滁州市天长市杨村镇工业园区 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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