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原文传递一种金刚石线切割硅片冷却液回收系统

专利名称：	一种金刚石线切割硅片冷却液回收系统
摘要：	本实用新型公开了一种金刚石线切割硅片冷却液回收系统，包括冷却液回收机体、初次净化滤筒和二次净化箱，所述冷却液回收机体的内部的顶端设有V型过滤网，所述V型过滤网的下方设有隔板，所述隔板的下方设有导向聚集槽，所述初次净化滤筒通过接口连接设在导向聚集槽的下方，所述冷却液回收机体的前端的下方与初次净化滤筒对齐的位置处设有检修板，且初次净化滤筒的数量不少于两个。该实用新型中隔板的上方设有V型过滤网，将其设为V型结构可以使过滤的碎屑向中间进行集中，使内部具有一定的储屑空间，使两侧具有较大的过滤空间，与平面的过滤网相比，该结构使用寿命更长，通畅性更好。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏德比新材料科技有限公司
发明人：	吴友洲;戚晓峰
专利状态：	有效
申请日期：	2022-06-21T00:00:00+0800
发布日期：	2022-12-06T00:00:00+0800
申请号：	CN202221551248.3
公开号：	CN217967735U
分类号：	B28D5/00;B;B28;B28D;B28D5;B28D5/00
申请人地址：	224000 江苏省盐城市大丰区开发区新民九组(昌平路东)
主权项：	1.一种金刚石线切割硅片冷却液回收系统，包括冷却液回收机体(5)、初次净化滤筒(8)和二次净化箱(12)，其特征在于：所述冷却液回收机体(5)的内部的顶端设有V型过滤网(3)，所述V型过滤网(3)的下方设有隔板(6)，所述隔板(6)的下方设有导向聚集槽(7)，所述初次净化滤筒(8)通过接口(22)连接设在导向聚集槽(7)的下方，所述冷却液回收机体(5)的前端的下方与初次净化滤筒(8)对齐的位置处设有检修板(21)，且初次净化滤筒(8)的数量不少于两个，所述二次净化箱(12)通过连接管(9)连接设在冷却液回收机体(5)的后端，所述二次净化箱(12)的内部由上到下依次设有净液缓冲槽(13)、定位框架(14)和集液槽(16)，所述定位框架(14)的内部设有二次滤芯(15)，所述二次净化箱(12)的后端的顶部设有净液出口(18)，所述净液出口(18)的一侧设有水泵(19)，所述冷却液回收机体(5)的底部设有固定底座(10)。 2.根据权利要求1所述的一种金刚石线切割硅片冷却液回收系统，其特征在于：所述V型过滤网(3)与冷却液回收机体(5)通过定位块(4)连接，且V型过滤网(3)与定位块(4)通过卡扣固定连接。 3.根据权利要求1所述的一种金刚石线切割硅片冷却液回收系统，其特征在于：所述冷却液回收机体(5)的顶部设有第一密封盖(2)，所述第一密封盖(2)的顶部的中间位置设有废液入口(1)，且第一密封盖(2)与冷却液回收机体(5)通过螺丝固定连接。 4.根据权利要求1所述的一种金刚石线切割硅片冷却液回收系统，其特征在于：所述二次滤芯(15)与定位框架(14)通过镶嵌连接，且二次滤芯(15)设为倒U型结构。 5.根据权利要求1所述的一种金刚石线切割硅片冷却液回收系统，其特征在于：所述集液槽(16)的一侧设有排污口(20)，且集液槽(16)的内部的后端设有斜面板(17)。 6.根据权利要求1所述的一种金刚石线切割硅片冷却液回收系统，其特征在于：所述二次净化箱(12)的顶部设有第二密封盖(11)，且第二密封盖(11)的横截面设为梯形结构。