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原文传递一种硅烷法生产电子级多晶硅用氮封水箱

专利名称：	一种硅烷法生产电子级多晶硅用氮封水箱
摘要：	本实用新型公开了一种硅烷法生产电子级多晶硅用氮封水箱，包括氮封水箱以及与氮封水箱通过管道连接的氮气过滤装置，氮气过滤装置包括支腿，支腿上端焊接有罩壳，罩壳左右两端通过螺栓对称连接有结构相同的端盖组合，端盖组合包括端盖，端盖一端焊接有进气管，进气管通过焊接连接有第一法兰，端盖内侧壁上下对称焊接有支撑板，支撑板右端设有压板，罩壳内侧设有挡板，左侧压板与挡板之间设有第一氮气过滤滤芯，右侧压板与挡板之间设有第二氮气过滤滤芯，罩壳中部上侧外壁上焊接有出气管，端盖右端外侧壁上焊接有第二法兰，罩壳两端外侧壁上设有第三法兰，第二法兰与第三法兰之间通过螺栓连接有垫板；总的，本实用新型具有节省成本的优点。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	河南;41
申请人：	河南硅烷科技发展股份有限公司
发明人：	李金生;蒋星光;程小会
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-12T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-10T00:00:00+0800
申请号：	CN201821851146.7
公开号：	CN209366987U
代理机构：	许昌豫创知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	李海帆
分类号：	B65D90/14(2006.01);B;B65;B65D;B65D90
申请人地址：	461700 河南省许昌市襄城县煤焦化循环经济产业园
主权项：	1.一种硅烷法生产电子级多晶硅用氮封水箱，包括氮封水箱（100）以及与所述氮封水箱（100）通过管道连接的氮气过滤装置（200），其特征在于：所述氮气过滤装置（200）包括支腿（1），所述支腿（1）上端焊接有罩壳（2），所述罩壳（2）左右两端通过螺栓对称连接有结构相同的端盖组合，所述端盖组合包括端盖（3），所述端盖（3）一端焊接有进气管（4），所述进气管（4）通过焊接连接有第一法兰（5），所述端盖（3）内侧壁上下对称焊接有支撑板（6），所述支撑板（6）右端设有压板（7），所述罩壳（2）内侧设有挡板（8），左侧所述压板（7）与所述挡板（8）之间设有第一氮气过滤滤芯（9），右侧所述压板（7）与所述挡板（8）之间设有第二氮气过滤滤芯（15），所述罩壳（2）中部上侧外壁上焊接有出气管（10），所述端盖（3）右端外侧壁上焊接有第二法兰（11），所述罩壳（2）两端外侧壁上设有第三法兰（12），所述第二法兰（11）与所述第三法兰（12）之间通过螺栓连接有垫板（13）。 2.根据权利要求1所述的一种硅烷法生产电子级多晶硅用氮封水箱，其特征在于：所述罩壳（2）采用不锈钢材料制成。 3.根据权利要求1所述的一种硅烷法生产电子级多晶硅用氮封水箱，其特征在于：所述压板（7）采用不锈钢材料制成。 4.根据权利要求1所述的一种硅烷法生产电子级多晶硅用氮封水箱，其特征在于：所述垫板（13）采用优力胶材质制成。 5.根据权利要求1所述的一种硅烷法生产电子级多晶硅用氮封水箱，其特征在于：所述罩壳（2）与所述挡板（8）之间焊接有加强板（14）。 6.根据权利要求1所述的一种硅烷法生产电子级多晶硅用氮封水箱，其特征在于：所述第一氮气过滤滤芯（9）采用不锈钢过滤网。 7.根据权利要求1所述的一种硅烷法生产电子级多晶硅用氮封水箱，其特征在于：所述第二氮气过滤滤芯（15）采用活性炭过滤网。
所属类别：	实用新型