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一种多晶硅生产尾气中痕量硅烷的检测装置及检测方法
| 专利名称： | 一种多晶硅生产尾气中痕量硅烷的检测装置及检测方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅生产尾气中痕量硅烷的检测装置及检测方法，属于多晶硅生产检测技术领域。检测装置的进样口、第一色谱柱、第二色谱柱和检测器依次连通，控制阀设置于第一色谱柱和第二色谱柱之间用于控制第一色谱柱和第二色谱柱的连通与断开。检测方法是以定量的多晶硅生产尾气先从进样口通入第一色谱柱，当检测器检测到硅烷峰出完以后，调节控制阀使第一色谱柱与第二色谱柱之间断开，将硅烷峰与标准硅烷峰对比，计算得到多晶硅生产尾气中痕量硅烷的量。使用上述检测装置的检测方法的检测结果更加准确，排除了尾气中的其他杂质气体，如：氯化氢、氯硅烷等，避免杂质气体进入检测器，使硅烷的检测更加准确、可靠、重复性好。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 青海;63 |
| 申请人： | 亚洲硅业（青海）有限公司 |
| 发明人： | 曹岩德;安军林;陈英春;赵倩倩;周慧娟;马文娟 |
| 专利状态： | 有效 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810006973.4 |
| 公开号： | CN108318592A |
| 代理机构： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 |
| 代理人： | 李佳 |
| 分类号： | G01N30/02(2006.01)I;G01N30/20(2006.01)I;G;G01;G01N;G01N30;G01N30/02;G01N30/20 |
| 申请人地址： | 810000 青海省西宁市城东区经济技术开发区金硅路1号 |
| 主权项： | 1.一种多晶硅生产尾气中痕量硅烷的检测装置，适用于气相色谱仪，其特征在于，包括进样口、第一色谱柱、第二色谱柱、控制阀和检测器，所述进样口、所述第一色谱柱、所述第二色谱柱和所述检测器依次连通，所述控制阀设置于所述第一色谱柱和所述第二色谱柱之间用于控制所述第一色谱柱和所述第二色谱柱的连通与断开。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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