详情

原文传递一种氯硅烷前处理系统及氯硅烷中杂质含量的检测方法

专利名称：	一种氯硅烷前处理系统及氯硅烷中杂质含量的检测方法
摘要：	本发明公开了一种氯硅烷前处理系统及氯硅烷中杂质含量的检测方法，涉及痕量杂质分析技术领域。燃烧部具有密闭的燃烧室，且燃烧室的出气口通过管路与吸收部连通，燃烧室内设置有用于盛放氯硅烷的取样器以及用于对取样器内的氯硅烷进行加热燃烧的电加热装置。本发明通过氯硅烷前处理系统的燃烧部对氯硅烷进行密闭燃烧消解，将燃烧氧化后的烟气通入吸收部进行吸收。这样避免了氯硅烷挥发造成的杂质检测结果不准确，上述装置提升了检测结果稳定性。此外，还提供了一种氯硅烷中杂质含量的检测方法，该检测方法从根本上解决了氯硅烷易挥发导致检测结果不准确的技术问题。
专利类型：	发明专利
申请人：	亚洲硅业(青海)股份有限公司
发明人：	曹岩德;陈英;魏东亮;王海礼;张海燕;田润朝;安军林;蔡延国
专利状态：	有效
申请日期：	1900-01-20T00:00:00+0805
发布日期：	1900-01-20T17:00:00+0805
申请号：	CN201911344586.2
公开号：	CN111024483A
代理机构：	北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	陈秋梦
分类号：	G01N1/44;G01N1/28;G;G01;G01N;G01N1;G01N1/44;G01N1/28
申请人地址：	810000 青海省西宁市城东区经济技术开发区金硅路1号
主权项：	1.一种氯硅烷前处理系统，其特征在于，其包括燃烧部和吸收部，所述燃烧部具有密闭的燃烧室，且燃烧室的出气口通过管路与吸收部连通，所述燃烧室内设置有用于盛放氯硅烷的取样器以及用于对所述取样器内的所述氯硅烷进行加热燃烧的电加热装置。 2.根据权利要求1所述的氯硅烷前处理系统，其特征在于，所述燃烧室的顶端设置有密封盖，所述电加热装置穿过所述密封盖进入所述燃烧室；优选的，所述燃烧室还设置有进气口；优选的，所述进气口连接有三通阀。 3.根据权利要求2所述的氯硅烷前处理系统，其特征在于，所述电加热装置包括用于固定加热丝和电源线的电源固定件，所述电源固定件包覆于所述加热丝和电源线外周，且所述电源线的一端延伸至电源固定件外与外接电源连接，所述加热丝的位置与所述取样器的位置相匹配。 4.根据权利要求3所述的氯硅烷前处理系统，其特征在于，所述取样器包括样品盛放容器和固定杆，所述固定杆的一端与所述样品盛放容器固定连接，所述固定杆的另一端与密封盖的底端固定连接。 5.根据权利要求1所述的氯硅烷前处理系统，其特征在于，所述吸收部包括多个吸收装置；优选的，所述吸收部包括第一吸收装置和第二吸收装置；所述第一吸收装置与第二吸收装置通过管路串联；所述第一吸收装置的进气管与燃烧室内连通；所述第二吸收装置的排气管与外界连通；更优选的，多个所述吸收装置中含有吸收液；更优选的，所述吸收液为硝酸。 6.根据权利要求2所述的氯硅烷前处理系统，其特征在于，所述密封盖与所述燃烧室顶端密封接触的位置设置有密封圈；优选的，所述密封圈为O型圈、U型圈或V型圈。 7.根据权利要求6所述的氯硅烷前处理系统，其特征在于，所述密封盖为橡胶塞。 8.一种氯硅烷中杂质含量的检测方法，其特征在于，其包括将待检测样本置于如权利要求1-7任一项所述的氯硅烷前处理系统中进行密闭燃烧消解，并将所述吸收部中吸收的物质进行检测。 9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括先对所述燃烧室和所述吸收部进行排空处理，再通入氧气进行待测样本的燃烧消解；优选的，进行排空处理所选择的气体为惰性气体；更优选的，所述排空处理时惰性气体的通入量为燃烧室体积的2-5倍；更优选的，所述氧气的通入流量为1-1.2L/min，通入时间为5-8min。 10.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括待测样本的燃烧消解至没有烟雾出现后，再次通入惰性气体进行排空；优选的，所述惰性气体为氮气。
所属类别：	发明专利