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原文传递 一种切方切棱磨抛一体机
专利名称: 一种切方切棱磨抛一体机
摘要: 本发明涉及一种切方切棱磨抛一体机,属于晶硅加工设备技术领域,包括底座,所述底座上设有滑轨,所述滑轨上沿着晶硅的传输方向依次设有上料工作台机构、对中机构、开方机构、落边皮机构和至少2个磨抛机构,上料工作台机构用于承载晶硅并带动晶硅沿着滑轨移动,切割线绕过开方机构的开方线网形成平行线,落边皮机构用于吸住开方机构切割下的边皮,所述至少2个磨抛机构沿着滑轨对称设置,本发明将开方机构与磨抛机构集成为一体,一次加工成型,晶硅可直接进入切片工序,同时,开方机构采用两线开方的形式,实现晶硅开方棒和去棱角的切割,减少了磨削工序的磨削余量,节省了粗磨工序,晶棒开方后进行一次磨抛即到棱角加工,显著提高磨削效率。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 山东;37
申请人: 青岛高测科技股份有限公司
发明人: 解培玉;段景波;徐公志;王丹;王宝超;于秀升
专利状态: 有效
申请日期: 2019-07-03T00:00:00+0800
发布日期: 2019-08-23T00:00:00+0800
申请号: CN201910594156.X
公开号: CN110154256A
代理机构: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人: 张明利
分类号: B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址: 266000 山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
主权项: 1.一种切方切棱磨抛一体机,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上设有滑轨(2),所述滑轨(2)上沿着晶硅(8)的传输方向依次设有: 上料工作台机构(3),其用于承载晶硅(8)并带动晶硅(8)沿着滑轨(2)移动; 对中机构(26),其位于上料工作台机构(3)处,实现上料工作台机构(3)放置晶硅后进行对中校正,使晶硅长度方向与滑轨(2)平行; 开方机构,其包括放线筒(4)、收线筒(6)和开方线网(5),切割线(17)绕过开方线网(5)围成供晶硅(8)通过并切割晶硅(8)边皮及棱角的切割通道,且切割线呈平行线,切割线使用但不限于环线或金刚线,实现高精密开方,确保尺寸和表面质量; 落边皮机构(24),其位于开方机构处,用于吸住开方机构切割下的边皮; 以及至少2个磨抛机构(7),至少2个磨抛机构(7)沿着滑轨(2)对称设置以围成供晶硅(8)通过并磨削晶硅(8)表面的磨削通道,所述切割通道、磨削通道与滑轨(2)平行。 2.根据权利要求1所述的一体机,其特征在于,所述上料工作台机构(3)包括上料工作台(30)、支撑座(27)、上料压紧气缸(28)和上料压板(29),所述上料压紧气缸(28)沿着竖直方向设置,其缸体端与上料工作台(30)固连,其活塞端与上料压板(29)连接,用于压紧晶硅(8)的顶部,所述上料压板(29)上设有呈V型结构的上料压块(34),且V型结构的开口正对晶硅(8)设置。 3.根据权利要求2所述的一体机,其特征在于,所述上料工作台机构(3)由横进给驱动电机驱动(33),以沿着滑轨(2)依次移动至切割通道、磨削通道,所述横进给驱动电机(33)的输出端连接有齿轮,所述底座(1)上设有与齿轮形成传动副的齿条,且齿条与滑轨(2)平行设置。 4.根据权利要求2所述的一体机,其特征在于,所述对中机构(26)包括对中支架、平行卡爪气缸和夹紧板,所述对中支架沿着竖直方向设置,其底部与底座(1)固连,所述平行卡爪气缸沿着垂直于滑轨(2)方向设置,其缸体端与对中支架固连,其活塞端与夹紧板连接,所述夹紧板沿着竖直方向设置。 5.根据权利要求4所述的一体机,其特征在于,所述平行卡爪气缸和夹紧板均设有对称的设有2个,且夹紧板与晶硅(8)的切割面相贴。 6.根据权利要求1所述的一体机,其特征在于,所述开方线网(5)位于线网支架(13)上,所述线网支架(13)跨设于滑轨(2)上,且线网支架(13)上开设与切割通道对应的开槽,所述开方线网(5)包括第一导向轮(14)、第二导向轮(15)和切割轮(16),所述第一导向轮(14)位于线网支架(13)的底部,用于将切割线(17)引入或引出开方线网(5),所述第二导向轮(15)位于线网支架(13)的顶部,用于改变开方线网(5)中切割线(17)的走向,且第一导向轮(14)与第二导向轮(15)的轮面平行,所述切割轮(16)的轮面与滑轨(2)平行,且切割轮(16)的轮面与第一导向轮(14)的轮面垂直。 7.根据权利要求1所述的一体机,其特征在于,所述落边皮机构(24)沿滑轨(2)对称设置,其包括安装板、锁紧气缸和吸盘,吸盘固定在安装板上且沿滑轨(2)方向可设置多个,以适应不同长度的晶硅(8),所述安装板与锁紧气缸的活塞端连接,以带动吸盘前后移动。 8.根据权利要求2-7任一所述的一体机,其特征在于,所述底座(1)上设有与滑轨(2)垂直的进给滑轨(21),且磨抛机构(7)通过固定座与进给滑轨(21)滑动连接,所述磨抛机构(7)包括旋转电机(23)、主轴和砂轮(25),所述主轴的一端与旋转电机(23)的输出端连接,其另一端连接正对磨削通道的砂轮(25)。 9.根据权利要求8所述的一体机,其特征在于,还包括检测单元组件,所述检测单元组件位于磨抛机构(7)的侧面,且与固定座连接,所述检测单元组件包括检测气缸和探针(40),所述检测气缸平行于进给滑轨(21)设置,且探针(40)与检测气缸的活塞端连接,以实现前后移动。
所属类别: 发明专利
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