详情

原文传递硅片传输分选装置

专利名称：	硅片传输分选装置
摘要：	本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供一种硅片传输分选装置，包括多个沿硅片传输方向并排设置的交叉传输机构、分选传输机构以及传输线提升机。传输线提升机的输出端连接于分选传输机构，分选传输机构包括两分选传输链，各分选传输链具有多个分选工位，各交叉传输机构均包括两交叉传输链，各交叉传输机构的两交叉传输链设于对应的分选工位处。初始时，两分选传输链的传输端面低于交叉传输链的传输端面，各晶体硅片则均停留在对应的分选工位处，通过传输线提升机的上抬，使得分选传输链的传输端面高于交叉传输链的传输端面，则各晶体硅片通过分选传输链带动，由分选工位处传输至下一工序。该硅片传输分选装置分选转运效率更高。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	深圳市聿知科技有限公司
发明人：	李峰;王迎松
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-08-27T00:00:00+0800
申请号：	CN201822174354.4
公开号：	CN209306449U
代理机构：	深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	寇闯
分类号：	B65G47/46(2006.01);B;B65;B65G;B65G47
申请人地址：	518000 广东省深圳市罗湖区桂园街道深南中路鸿隆世纪广场B座27E
主权项：	1.一种硅片传输分选装置，其特征在于：包括多个沿硅片传输方向并排设置的交叉传输机构、分选传输机构以及传输线提升机，所述传输线提升机的输出端连接于所述分选传输机构且可沿竖直方向升降移动所述分选传输机构，所述分选传输机构包括平行且间隔设置的两分选传输链，各所述分选传输链具有多个分选工位，各所述交叉传输机构均包括平行且间隔设置的两交叉传输链，各所述交叉传输机构的两所述交叉传输链设于对应的所述分选工位处且分别垂直于所述分选传输链，两所述分选传输链的传输端面于所述传输线提升机上升时高于两所述交叉传输链的传输端面。 2.根据权利要求1所述的硅片传输分选装置，其特征在于，所述分选传输机构包括底板、多个第一侧立板、多个与所述第一侧立板相对应的第二侧立板、两所述分选传输链以及分选驱动电机，各所述第一侧立板沿垂直于硅片传输方向间隔地立设于所述底板上，各所述第二侧立板平行于对应所述第一侧立板且立设所述底板上，其中一所述分选传输链安装于各所述第一侧立板上且绕于所述分选驱动电机的第一输出端，另一所述分选传输链安装于各所述第二侧立板上且绕于所述分选驱动电机的第二传输端，各所述第一侧立板于所述分选工位处均开设有两并排设置的第一凹槽，各所述第二侧立板于所述分选工位处均开设有与两所述第一凹槽相对应的两第二凹槽，各所述交叉传输机构的一端设于对应的所述第一凹槽内和所述第二凹槽内，所述传输线提升机的输出端安装于所述底板上且可沿竖直方向升降所述底板。 3.根据权利要求2所述的硅片传输分选装置，其特征在于：所述交叉传输机构包括底座、第一支撑板、第二支撑板、两所述交叉传输链以及交叉驱动电机，所述第一支撑板和所述第二支撑板分别立设于所述底座的两端，所述交叉驱动电机安装于所述底座上且位于所述第一支撑板和所述第二支撑板之间，所述第二支撑板包括安装于所述底座上的支架以及垂直连接于所述支架的延伸板，所述延伸板伸出至所述底座的外部，两所述交叉传输链分别安装于所述第一支撑板和所述延伸板相对的两侧且均绕于所述交叉驱动电机的输出端，所述延伸板设于所述第一凹槽内和所述第二凹槽内，并且，所述延伸板垂直于所述底板设置。 4.根据权利要求3所述的硅片传输分选装置，其特征在于：所述交叉传输链包括多个交叉辊轴以及两平行设置的交叉传输皮带，各所述交叉辊轴每两个一组对称地设于所述第一支撑板的相对两侧、设于所述延伸板的相对两侧以及设于所述交叉驱动电机的相对两侧上，两所述交叉传输皮带分别依次绕于所述第一支撑板相对两侧、所述延伸板相对两侧以及所述交叉驱动电机相对两侧上对应的各所述交叉辊轴。 5.根据权利要求4所述的硅片传输分选装置，其特征在于：所述分选传输链包括多个分选辊轴以及两平行设置的分选传输皮带，各所述分选辊轴设于各所述第一侧立板的缘侧边界处和各所述第二侧立板的缘侧边界处，各所述分选传输皮带依次绕于各所述第一侧立板上的各所述分选辊轴或者绕于各所述第二侧立板上的各所述分选辊轴，所述分选传输皮带于所述底板抬起或下落时高于或低于所述交叉传输皮带。 6.根据权利要求2至5任一项所述的硅片传输分选装置，其特征在于：所述传输线提升机包括竖直移动电机、多个位置传感器以及支撑平台，各所述位置传感器均与所述竖直移动电机电性连接，所述支撑平台包括竖直板以及垂直连接于所述竖直板的水平板，所述竖直板连接于所述竖直移动电机的输出端，所述水平板连接于所述底板，所述位置传感器的数量与所述第一侧立板数量相同，各所述位置传感器设于对应的所述分选工位处且位于所述第一侧立板和所述第二侧立板之间。
所属类别：	实用新型