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原文传递一种检测装置和硅片分选设备

专利名称：	一种检测装置和硅片分选设备
摘要：	本发明提供了一种检测装置，包括用于输送待测物体的输送机构和两组检测机构，第一组检测机构被配置为检测待测物体的第一边缘和上表面，第二组检测机构被配置为检测待测物体的第二边缘和下表面，第一边缘和第二边缘为待测物体上相对的且与输送机构的输送方向垂直的两条边缘，每组检测机构均包括检测相机、表面照射光源、边缘照射光源和反射机构，其中，对于每组检测机构：反射机构对表面照射光源、边缘照射光源发出的光线进行至少一次反射，以使得待测物体的被测表面反射及被测边缘反射的光均能对应的检测相机探测到。输送过程中，本发明无须对待测物体进行旋转即能实现对待测物体的垂直于输送机构的输送方向的两条边缘以及待测物体的上下表面的检测，从而提升了检测效率、降低了检测成本。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	无锡奥特维科技股份有限公司
发明人：	李文;王美;洪瑞;刘顺;李昶;徐飞;李泽通;马红伟
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-20T00:00:00+0800
申请号：	CN201910669115.2
公开号：	CN110596114A
代理机构：	无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙)
代理人：	孙际德
分类号：	G01N21/86(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	214000 江苏省无锡市新区珠江路25号
所属类别：	发明专利