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原文传递 一种单晶硅棒切片装置
专利名称: 一种单晶硅棒切片装置
摘要: 本实用新型公开了一种单晶硅棒切片装置,包括底板,所述底板顶部外壁通过螺栓固定有安装架,且安装架顶部外壁焊接有水平放置的工作台,所述工作台顶部外壁开有矩形槽,且矩形槽一侧内壁开有倒角,所述工作台顶部外壁焊接有限位块,且限位块为倒置的L状,所述限位块一侧外壁与矩形槽一侧内壁处于同一平面内,所述底板顶部外壁通过螺栓固定有无盖的切片收集盒。本实用新型当完成切片后,倒角减少了单晶硅片的支撑面积,使得单晶硅片不稳,从而落入矩形槽内被收集,提高了装置收集的便捷性,防护垫对掉落的单晶硅片起到缓冲保护作用,防止其摔坏,倾斜的放置方式使得单晶硅片不易堆积在一起,提高了装置的实用性。
专利类型: 实用新型
国家地区组织代码: 江西;36
申请人: 宇泽(江西)半导体有限公司
发明人: 王进;张银鹏
专利状态: 有效
申请日期: 2018-11-16T00:00:00+0800
发布日期: 2019-09-06T00:00:00+0800
申请号: CN201821892441.7
公开号: CN209350633U
分类号: B28D5/02(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址: 336000 江西省宜春市宜春经济技术开发区经发大道
主权项: 1.一种单晶硅棒切片装置,包括底板(1),其特征在于,所述底板(1)顶部外壁通过螺栓固定有安装架(2),且安装架(2)顶部外壁焊接有水平放置的工作台(3),所述工作台(3)顶部外壁开有矩形槽(18),且矩形槽(18)一侧内壁开有倒角(17),所述工作台(3)顶部外壁焊接有限位块(16),且限位块(16)为倒置的L状,所述限位块(16)一侧外壁与矩形槽(18)一侧内壁处于同一平面内,所述底板(1)顶部外壁通过螺栓固定有无盖的切片收集盒(19),且切片收集盒(19)底部内壁通过螺栓固定有倾斜放置的防护垫(20)。 2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切片装置,其特征在于,所述工作台(3)顶部外壁焊接有固定架(12),且固定架(12)一侧内壁通过螺栓固定有第二电动伸缩杆(11),第二电动伸缩杆(11)底部外壁焊接有安装座,安装座一侧外壁通过螺栓固定有电机(13)。 3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒切片装置,其特征在于,所述电机(13)输出轴一端焊接有水平放置的切刀座,且切刀座一侧外壁通过螺栓固定有切刀(15),切刀(15)的切刀刃为单面刃,切刀座顶部外壁通过螺栓固定有防护罩(14)。 4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切片装置,其特征在于,所述工作台(3)顶部外壁通过螺栓固定有连接块,且连接块一侧外壁通过螺栓固定有第一电动伸缩杆(4),第一电动伸缩杆(4)一端通过螺栓固定有卡接板(5),卡接板(5)一端为锥形结构,且卡接板(5)具有弹性。 5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒切片装置,其特征在于,所述工作台(3)顶部外壁通过螺栓固定有限位板(6),且限位板(6)的顶部外壁开有等距离分布的V型槽,V型槽的规格与卡接板(5)的规格相适配。 6.根据权利要求4所述的一种单晶硅棒切片装置,其特征在于,所述卡接板(5)一端通过螺栓固定有连接条(7),且连接条(7)一端焊接有固定件(8),固定件(8)一侧外壁螺纹连接有螺纹杆(22),且螺纹杆(22)一端焊接有夹紧板(21),夹紧板(21)一侧外壁通过螺栓固定有橡胶垫,固定件(8)内夹紧有单晶硅棒样品(9)。 7.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒切片装置,其特征在于,所述固定架(12)顶部外壁通过螺栓固定有控制开关(10),且控制开关(10)通过导线与第一电动伸缩杆(4)、第二电动伸缩杆(11)和电机(13)相连接。
所属类别: 实用新型
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