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原文传递一种多通道缺陷合并分析的方法及系统

专利名称：	一种多通道缺陷合并分析的方法及系统
摘要：	本发明公开了一种多通道缺陷合并分析的方法及系统，涉及光学检测技术领域，该方法为：将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储；分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，得到各个通道的最终缺陷点子表并存储；将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，得到最终缺陷点表并存储，最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息；根据单个通道或者多个通道的组合，将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。本发明能显示单个通道或者多个通道组合形成的缺陷点，用户能直观辨别误检缺陷点或者漏检缺陷点。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖北;42
申请人：	武汉中导光电设备有限公司
发明人：	秦继昊;张国栋
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-06T00:00:00+0800
申请号：	CN201910447257.4
公开号：	CN110208284A
代理机构：	武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	张凯
分类号：	G01N21/95(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	430000 湖北省武汉市经济技术开发区车城南路69号
主权项：	1.一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于，包括以下步骤：将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储；分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，得到各个通道的最终缺陷点子表并存储；将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，得到最终缺陷点表并存储，最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息；根据单个通道或者多个通道的组合，将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。 2.如权利要求1所述的一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于，将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设第一阈值的缺陷点合并，包括以下步骤：根据每个通道的初始缺陷点子表内的所有缺陷点的坐标，确定缺陷点的分布区域，并使用预设的第一步距将该区域划分成相同大小的第一网格；将每个通道的初始缺陷点子表内的所有缺陷点分成多个第一类组别，使每个第一类组别中缺陷点之间的间隔距离小于预设的第一阈值，且每个第一类组别中所有缺陷点位于同一个第一网格或者与该第一网格相邻的第一网格中，将每个第一类组别内的所有缺陷点合并。 3.如权利要求2所述的一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于，将每个第一类组别内的所有缺陷点合并，包括以下步骤：每个第一类组别内合并后的缺陷点坐标为该第一类组别内所有缺陷点坐标形成矩形区域的中心，合并后的缺陷点面积为该第一类组别内所有缺陷点的面积之和。 4.如权利要求1所述的一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于，将各个通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，包括以下步骤：根据各个通道的最终缺陷点子表间的所有缺陷点的坐标，确定缺陷点的分布区域，并使用预设的第二步距将该区域划分成相同大小的第二网格；将各个通道的最终缺陷点子表间的所有缺陷点分成多个第二类组别，使每个第二类组别中缺陷点之间的间隔距离小于预设的第二阈值，且每个第二类组别中所有缺陷点位于同一个第二网格或者与该第二网格相邻的第二网格中，将每个第二类组别内的所有缺陷点合并。 5.如权利要求4所述的一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于，将每个第二类组别内的所有缺陷点进行合并，包括以下步骤：每个第二类组别内合并后的缺陷点坐标为该第二类组别内面积最大的缺陷点的坐标，合并后的缺陷点面积为该第二类组别内面积最大的缺陷点的面积。 6.如权利要求1所述的一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于：所述多个通道的组合包括多个通道之间的与、或以及非组合。 7.如权利要求1所述的一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于：所述通道数包括但不限于三个。 8.如权利要求1所述的一种多通道缺陷合并分析的方法，其特征在于：使用一个字符串记录最终缺陷点表中的每个缺陷点，所述字符串包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息。 9.一种用于如权利要求1所述方法的多通道缺陷合并分析的系统，其特征在于，包括：分表模块，其用于将多个通道检测得到的初始缺陷点列表分成对应各个通道的初始缺陷点子表并存储；第一合并模块，其用于分别将每个通道的初始缺陷点子表内且间隔距离小于预设的第一阈值的缺陷点合并，得到各个通道的最终缺陷点子表并存储；第二合并模块，其用于将不同通道的最终缺陷点子表间且间隔距离小于预设的第二阈值的缺陷点合并，得到最终缺陷点表并存储，其中最终缺陷点表中的每个缺陷点包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息；显示模块，其用于根据单个通道或者多个通道的组合，将最终缺陷点表中的缺陷点进行显示。 10.如权利要求9所述的一种多通道缺陷合并分析的系统，其特征在于：所述第二合并模块还用于使用一个字符串记录最终缺陷点表中的每个缺陷点，使所述字符串包含合并形成该缺陷点的最终缺陷点子表的缺陷点的通道信息。
所属类别：	发明专利