专利名称: |
一种单晶硅棒开方机 |
摘要: |
本实用新型公开了一种单晶硅棒开方机,包括料车装置、机械手装置、夹持装置及双边线锯运行装置,夹持装置包括单晶硅棒夹持机构;单晶硅棒夹持机构包括前端夹持机构、尾端夹持机构及单晶硅棒夹持机构驱动机构;尾端夹持机构与前端夹持机构正对设置,且二者均设置有传感器;单晶硅棒夹持机构驱动机构用于驱动尾端夹持机构和前端夹持机构相互靠近或远离;双边线锯运行装置包括两个线锯切割机构、第一线锯切割机构驱动机构及第二线锯切割机构驱动机构;两个线锯切割机构分别设置于夹持装置的两侧处;料车装置设置于夹持装置的一侧;机械手装置用于抓取单晶硅棒。本实用新型具有单晶硅棒被切割前后晶线保持准确对正状态的优点。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
福建;35 |
申请人: |
福州天瑞线锯科技有限公司 |
发明人: |
朱文志;黄奇勋;黄田玉;林孝狮;李元业;林光展 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2018-11-16T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-09-13T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201821888855.2 |
公开号: |
CN209381170U |
代理机构: |
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) |
代理人: |
林祥翔;黄以琳 |
分类号: |
B28D5/00(2006.01);B;B28;B28D;B28D5 |
申请人地址: |
350100 福建省福州市闽侯县甘蔗街道南兴路6号 |
主权项: |
1.一种单晶硅棒开方机,其特征在于,包括机械手装置、夹持装置及双边线锯运行装置,所述夹持装置包括单晶硅棒夹持机构; 所述单晶硅棒夹持机构包括前端夹持机构、尾端夹持机构及单晶硅棒夹持机构驱动机构;所述尾端夹持机构与前端夹持机构正对设置,用于夹持和旋转单晶硅棒;所述单晶硅棒夹持机构驱动机构设置于尾端夹持机构和前端夹持机构之间,用于驱动尾端夹持机构和前端夹持机构相互靠近或远离;所述尾端夹持机构和前端夹持机构均设置有传感器,所述传感器用于扫描单晶硅棒的形状特征; 所述双边线锯运行装置包括两个线锯切割机构、第一线锯切割机构驱动机构及第二线锯切割机构驱动机构;两个线锯切割机构分别设置于夹持装置的两侧处;所述第一线锯切割机构驱动机构用于驱动线锯切割机构沿夹持装置移动切割单晶硅棒;所述第二线锯切割机构驱动机构用于根据传感器的扫描结果所计算得出的晶线所处位置驱动两个线锯切割机构相对靠近或远离; 所述机械手装置设置于夹持装置上方,用于抓取单晶硅棒。 2.根据权利要求1所述的单晶硅棒开方机,其特征在于,所述夹持装置还包括边料夹持机构; 所述边料夹持机构包括夹持架、边料滑顶机构、边料拨顶机构;所述边料滑顶机构设置于夹持架的一端,所述边料拨顶机构设置于夹持架的另一端;边料滑顶机构和边料拨顶机构相对设置,且可相对靠近或远离,用于夹持和顶出单晶硅棒的边料;边料夹持机构设置有两个,两个边料夹持机构分别设置于单晶硅棒夹持机构的两侧处,且分别可靠近或远离单晶硅棒夹持机构的侧部。 3.根据权利要求2所述的单晶硅棒开方机,其特征在于,所述边料夹持机构还包括边料夹持机构安装座及边料夹持机构翻转驱动机构;所述边料夹持机构安装座的一端与单晶硅棒夹持机构连接,所述边料夹持机构翻转驱动机构的底部铰接于边料夹持机构安装座的另一端;所述边料夹持机构位于边料夹持机构翻转驱动机构和单晶硅棒夹持机构之间,且边料夹持机构的底部与边料夹持机构安装座铰接;所述边料夹持机构翻转驱动机构的顶部与边料夹持机构的顶部铰接;边料夹持机构翻转驱动机构用于驱动边料夹持机构以与边料夹持机构安装座的铰接点为旋转点旋转。 4.根据权利要求2所述的单晶硅棒开方机,其特征在于,所述边料滑顶机构包括滑爪、活动座板、固定座板、顶紧块及顶紧块驱动机构; 所述固定座板与夹持架连接,且固定座板的正面开设有贯穿至背面的销轴孔,所述销轴孔内可活动地设置有滑动销轴;所述滑爪设置于固定座板的正面处,并与滑动销轴的端面连接,且滑爪与边料拨顶机构正对;所述固定座板的背面弹簧槽孔,所述销轴槽孔内可滑动地设置有滑动销轴,所述弹簧槽孔内固定设置有第一弹簧;所述活动座板设置于固定座板的背面处,且与第一弹簧、滑动销轴连接;所述顶紧块驱动机构通过顶紧块与活动座板连接,用于驱动活动座板、滑动销轴、滑爪靠近或远离边料拨顶机构。 5.根据权利要求2所述的单晶硅棒开方机,其特征在于,所述边料拨顶机构包括拨爪、拨爪固定座、拨爪旋转驱动机构及拨爪平移驱动机构; 所述拨爪固定座与夹持架连接,且可沿夹持架靠近或远离边料滑顶机构滑动;所述拨爪铰接于拨爪固定座处,所述拨爪旋转驱动机构与拨爪连接,用于驱动拨爪旋转至垂直于夹持架;所述拨爪平移驱动机构与拨爪固定座连接,用于驱动拨爪固定座沿夹持架靠近或远离边料滑顶机构滑动。 6.根据权利要求1所述的单晶硅棒开方机,其特征在于,所述前端夹持机构包括前端夹持座及前端旋转盘;所述尾端夹持机构包括尾端夹持座、尾端旋转盘及旋转盘驱动电机; 所述前端夹持座和尾端夹持座相对设置,所述前端旋转盘设置于前端夹持座上,所述尾端旋转盘设置于尾端夹持座上,且前端旋转盘和尾端旋转盘同轴设置;所述旋转盘驱动电机与尾端旋转盘连接,用于驱动尾端旋转盘旋转; 所述前端夹持座和尾端夹持座的中部均设置有传感器安装座,所述前端夹持座和尾端夹持座的传感器安装座分别设置有传感器。 7.根据权利要求6所述的单晶硅棒开方机,其特征在于,所述前端夹持座和尾端夹持座的顶部均开设有轴承安装槽, 所述前端旋转盘和尾端旋转盘均包括轴承、安装座及顶销;所述轴承固定设置于轴承安装槽内,所述安装座的背面设置有旋转轴,所述旋转轴卡于轴承内;安装座的正面开设有顶销安装槽及前端盖,所述前端盖设置于安装座的正面处;所述顶销设置于前端盖处,且顶销的未端穿于顶销安装槽内;顶销的末端设置有限位件,所述限位件用于限制顶销的末端穿出前端盖外;所述顶销安装槽内设置有第二弹簧,所述第二弹簧的一端顶靠着顶销安装槽,弹簧的另一端顶靠着限位件; 所述尾端旋转盘还包括旋转盘驱动机构,所述旋转盘驱动机构与旋转轴连接,用于驱动旋转轴、安装座及顶销同步旋转。 8.根据权利要求1所述的单晶硅棒开方机,其特征在于,还包括控制系统,所述控制系统与机械手装置、夹持装置及双边线锯运行装置连接,用于分别控制机械手装置、夹持装置及双边线锯运行装置。 9.根据权利要求1所述的单晶硅棒开方机,其特征在于,所述前端夹持机构和尾端夹持机构之间设置有第一滑轨,所述前端夹持机构的底部设置有滑块,所述滑块的底部开设有与滑轨相适配的第一滑槽,所述滑块通过第一滑槽可滑动地设置于第一滑轨上。 10.根据权利要求1所述的单晶硅棒开方机,其特征在于,所述机械手装置包括支撑架、第一滑台、第一滑台驱动机构、第二滑台、第二滑台驱动机构及夹爪机构; 所述支撑架横跨于夹持装置的上方,且支撑架设置有横跨夹持装置的第二滑轨;所述第一滑台水平设置,且第一滑台设置有第二滑槽,第二滑台通过第二滑槽可滑动地设置于第二滑轨处;所述第一滑台驱动机构与第一滑台连接,用于驱动第一滑台沿着第二滑轨移动; 第一滑台侧部设置有竖直方向的连接板,所述连接板设置竖直方向的第三滑轨;所述第二滑台设置有第三滑槽,第二滑台通过第三滑槽可滑动地设置于第三滑轨处;所述第二滑台驱动机构与第二滑台连接,用于驱动第二滑台沿着第三滑轨移动;所述夹爪机构与第二滑台连接。 |
所属类别: |
实用新型 |