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原文传递一种热双金属拉伸驱动器及其制备方法

专利名称：	一种热双金属拉伸驱动器及其制备方法
摘要：	本发明涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域，提供了一种热双金属拉伸驱动器及其制备方法，热双金属拉伸驱动器包括本体和第一开口、第二开口；本体包括主动区和设置在主动区两侧的被动区；主动区上开设第一开口，每个被动区上开设第二开口，第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁，第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁，且第一搭载梁与第二搭载梁并行连接；主动区上的两根第一搭载梁之间构成拉伸驱动位置；本发明结构简单、制备方便，通过一体式结构设计，便于批量化生产，并实现了在不同温度下进行TEM原位拉伸实验，同时可根据需要灵活设计驱动器的结构，满足了不同的驱动需求。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京工业大学
发明人：	韩晓东;马腾云;张泽;李志鹏;毛圣成;张剑飞;马东锋;翟亚迪;李雪峤;张晴;栗晓辰
专利状态：	有效
申请日期：	2019-05-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-17T00:00:00+0800
申请号：	CN201910459279.2
公开号：	CN110243679A
代理机构：	北京路浩知识产权代理有限公司
代理人：	苗青盛;谭云
分类号：	G01N3/08(2006.01);G;G01;G01N;G01N3
申请人地址：	100022 北京市朝阳区平乐园100号
主权项：	1.一种热双金属拉伸驱动器，其特征在于，包括本体和所述本体上开设的第一开口、第二开口；所述本体包括主动区和设置在所述主动区两侧的被动区，所述主动区所采用的材料的热膨胀系数大于所述被动区所采用的材料的热膨胀系数；所述主动区上开设所述第一开口，每个所述被动区上开设所述第二开口，所述第一开口与所述被动区之间的连接部设为第一搭载梁，所述第二开口与所述主动区之间的连接部设为第二搭载梁，且所述第一搭载梁与所述第二搭载梁并行连接；所述主动区上的两根第一搭载梁之间构成拉伸驱动位置。 2.根据权利要求1所述的热双金属拉伸驱动器，其特征在于，所述本体呈圆形片或半圆形片结构，所述第一开口与所述第二开口均呈条形结构，且所述第一开口与所述第二开口相互平行布置。 3.根据权利要求2所述的热双金属拉伸驱动器，其特征在于，所述主动区设有一个所述第一开口，在两个所述被动区各设有一个所述第二开口，两个所述第二开口对称布置在所述第一开口的两侧。 4.根据权利要求3所述的热双金属拉伸驱动器，其特征在于，所述第一开口与两个所述第二开口在所述本体的同一侧边上均呈敞口布置。 5.根据权利要求3所述的热双金属拉伸驱动器，其特征在于，所述第一开口与两个所述第二开口的其中一个同侧端通过连接通道相连通，且所述第一开口、所述第二开口分别与所述连接通道相垂直。 6.一种制备权利要求1-5中任意一项所述的热双金属拉伸驱动器的制备方法，其特征在于，包括： S1，制备热膨胀系数不相同的第一板料和第二板料； S2，将第一板料与第二板料沿竖直方向进行交替叠放，并使各层板料相互间结合为一体，构成中间料样模组； S3，对所述中间料样模组沿着竖直方向进行切割，以得到双金属料板，所述双金属料板由所述主动区和所述被动区交替布置而成； S4，在所述双金属料板上排版与所述热双金属拉伸驱动器结构相对应的加工版图，沿着所述加工版图进行分别剪切加工，得到所述热双金属拉伸驱动器。 7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述第一板料与所述第二板料均为非磁性材料。 8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，在步骤S2中，还包括对所述第一板料与所述第二板料进行表面处理，在完成对所述第一板料与所述第二板料的叠放操作后，采用轧制或扩散焊方法将各层板料相互结合为一体；在步骤S3中，还包括对所述双金属料板沿竖直方向的两侧边进行砂纸打磨，并对所述双金属料板的切割端面进行表面处理；在步骤S4中，还包括采用激光切割、离子束刻蚀或等离子体刻蚀加工的方式沿着所述加工版图进行剪切加工。 9.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述双金属料板的厚度为50～200μm；由步骤S1-S4制备得到的所述热双金属拉伸驱动器的本体直径为2.5～3.5mm。
所属类别：	发明专利