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悬挂式升降搬运台车上的物品交接方法以及装置
| 专利名称： | 悬挂式升降搬运台车上的物品交接方法以及装置 |
| 摘要： | 提供一种悬挂式升降搬运台车上的物品交接方法以及装置。该装 置的结构是，利用悬挂式升降搬运台车的升降机构与其升降范围内沿 水平方向进退的一对滑板(10by)、(10cy)的作用，能够交换在处 理工作台(5)的FOUP用搬入/搬出小舟(5a)上装载并收纳了在该处 理工作台(5)处理后的基板的FOUP(9a)与位于该FOUP(9a)上 方用悬挂式升降搬运台车搬运并收纳了在该处理工作台(5)上正要接 受处理的基板的FOUP(9b)。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 日本亚仕帝科技株式会社 |
| 发明人： | 安藤光裕;前滝進 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-09-29T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200680036458.6 |
| 公开号： | CN101278384 |
| 分类号： | H01L21/677(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本三重 |
| 主权项： | 1.一种悬挂式升降搬运台车上的物品交接方法，其中包括： 使用所述夹持部夹持向规定工作台的搬入用物品并使之下降，装载 于第一部件、第二部件沿上下方向排列的悬挂式暂时保管架的第一部件 的工序； 使用所述夹持部夹持在所述规定工作台的物品搬入/搬出小舟上装 载的搬出用物品并使之上升，装载于所述悬挂式暂时保管架的第二部件 的工序； 使用所述夹持部夹持在所述悬挂式暂时保管架的第一部件上装载的 搬入用物品并使之下降，装载于所述物品搬入/搬出小舟的工序；以及 使用所述夹持部夹持在所述悬挂式暂时保管架的第二部件上装载的 搬出用物品并使之上升的工序。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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