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原文传递扫描电镜与光谱设备联用装置

专利名称：	扫描电镜与光谱设备联用装置
摘要：	本发明提供了一种扫描电镜与光谱设备联用装置，涉及光学检测仪器技术领域，该扫描电镜与光谱设备联用装置，包括：光谱检测装置、扫描电镜接收装置和电子枪；所述光谱检测装置能够沿第一方向向样品发射激光，所述电子枪能够沿第二方向向所述样品发射电子束，所述扫描电镜接收装置的探头朝向第三方向，用于接收所述样品的表面发出的电子信号。光谱检测装置发射激光的方向分别与电镜装置接收信号方向和电子枪发射方向均不相同，并且均朝向样品，从而能够实现光谱检测装置、扫描电镜接收装置和电子枪从不同的朝向且在同一时间对样品的同一位置进行光谱检测和扫描电镜功能检测。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	天津;12
申请人：	天津大学
发明人：	仇巍;常颖;肖爱霞;亢一澜;曲传咏;张茜
专利状态：	有效
申请日期：	2019-07-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-13T00:00:00+0800
申请号：	CN201910628602.4
公开号：	CN110231358A
代理机构：	北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	周宇
分类号：	G01N23/2251(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	300000 天津市南开区卫津路92号
主权项：	1.一种扫描电镜与光谱设备联用装置，其特征在于，包括：光谱检测装置、扫描电镜接收装置和电子枪；所述光谱检测装置能够沿第一方向向样品发射激光，所述电子枪能够沿第二方向向所述样品发射电子束，所述扫描电镜接收装置的探头朝向第三方向，用于接收所述样品的表面发出的电子信号；且所述第一方向分别与所述第二方向和第三方向均不重合。 2.根据权利要求1所述的扫描电镜与光谱设备联用装置，其特征在于，所述扫描电镜与光谱设备联用装置包括真空仓和样品台，所述光谱检测装置和扫描电镜接收装置均固定在所述真空仓上；所述电子枪和样品台均安装在所述真空仓内部，所述电子枪位于所述样品台的上方；且所述光谱检测装置和扫描电镜接收装置分别位于所述电子枪的两侧。 3.根据权利要求2所述的扫描电镜与光谱设备联用装置，其特征在于，所述样品台包括台面和升降机构，所述台面与所述升降机构连接，所述升降机构用于带动所述台面沿竖向上下运动。 4.根据权利要求2所述的扫描电镜与光谱设备联用装置，其特征在于，所述光谱检测装置包括激光器、摄谱仪、外光路组件、第一位移调整机构、通光法兰、第二位移调整机构、显微镜头；所述通光法兰设置在所述真空仓的仓壁上，以使真空仓内外能够通过通光法兰实现激光导通；所述激光器和摄谱仪均与所述外光路组件的一端连接，所述外光路组件的另一端与所述第一位移调整机构的活动端连接，所述第一位移调整机构的固定端固定连接在所述通光法兰的外侧壁上；所述第二位移调整机构的固定端安装在所述通光法兰的内侧壁上；所述显微镜头安装在所述第二位移调整机构的活动端，所述第一位移调整机构和第二位移调整机构用于调整所述外光路组件和显微镜头同光轴。 5.根据权利要求4所述的扫描电镜与光谱设备联用装置，其特征在于，所述第一位移调整机构为二维位移固定平台，所述第二位移调整机构包括三维位移调整平台和镜头支架，所述镜头支架安装在所述三维位移调整平台上，所述镜头支架用于固定所述显微镜头。 6.根据权利要求4所述的扫描电镜与光谱设备联用装置，其特征在于，所述扫描电镜接收装置包括电子束分析设备、固定法兰和电子束收集探头；所述固定法兰设置在所述真空仓的仓壁上，以使真空仓内外能够通过固定法兰连通；所述电子束收集探头固定安装在所述固定法兰的内侧，且所述电子束收集探头的外端贯穿所述固定法兰后与固定在所述固定法兰外侧的电子束分析设备连接。 7.根据权利要求4所述的扫描电镜与光谱设备联用装置，其特征在于，所述外光路组件包括准直器、窄带滤波片、第一反射镜和双色激光分光镜，所述双色激光分光镜能够反射所述激光器发出的激光且能够透射从所述样品上反射的激光；所述第一反射镜用于将从所述窄带滤波片射出的光反射向所述双色激光分光镜，以使从所述激光器发出的光能够依次经过所述准直器、窄带滤波片、第一反射镜和双色激光分光镜后射入所述显微镜头；所述外光路组件还包括耦合镜头和高通滤波片，且二者均位于所述摄谱仪和双色激光分光镜之间，以使从所述样品上反射的激光能够依次通过所述显微镜头、双色激光分光镜、高通滤波片和耦合镜头后进入到所述摄谱仪内。 8.根据权利要求7所述的扫描电镜与光谱设备联用装置，其特征在于，所述外光路组件还包括光源、图像传感器、半反半透镜、第二反射镜和第三反射镜，所述第三反射镜能够插拔至所述高通滤波片和双色激光分光镜之间，以使所述光源发出的光能够依次经过半反半透镜、第二反射镜和第三反射镜的反射后从所述双色激光分光镜透射；所述图像传感器位于所述半反半透镜的透光侧，以使其能够接收由所述双色激光分光镜透射后，并由第二反射镜和第三反射镜反射，再由所述半反半透镜透射的光，以形成所述样品的图像信息。 9.根据权利要求2所述的扫描电镜与光谱设备联用装置，其特征在于，所述扫描电镜与光谱设备联用装置包括抽真空机构，所述抽真空机构与所述真空仓连接，用于对所述真空仓进行抽真空处理。
所属类别：	发明专利