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原文传递硅片缓存机

专利名称：	硅片缓存机
摘要：	本发明公开了一种硅片缓存机，包括缓存机构和传输机构；传输机构具有同步移动的多组传送带；缓存机构设置在传送带移动方向上的目标位置，其具有同步升降的多组缓存架；每组缓存架上均设有沿竖直方向彼此间隔排布的多个支架，两相邻支架之间具有用于容纳硅片边部的竖直间隙；传送带上的硅片被传送至目标位置时，硅片的边部进入缓存架上与之等高的竖直间隙；缓存架上升时，支架撑托硅片上升，使得传送带上的硅片移位至缓存架上；缓存架下降时，缓存架上的硅片下料至传送带上。本发明的缓存架配置在硅片流水线生产的两套设备之间，运行方向的前段设备暂停时逐层缓存硅片，设备启用时逐层缓存的硅片下料至流水线上，避免设备暂停过程中硅片受到损伤。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	罗博特科智能科技股份有限公司
发明人：	张学强;戴军;张建伟;罗银兵
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-09-17T00:00:00+0800
申请号：	CN201910364021.4
公开号：	CN110239877A
代理机构：	苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	李艾
分类号：	B65G15/20(2006.01);B;B65;B65G;B65G15
申请人地址：	215000 江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
主权项：	1.一种硅片缓存机，其特征在于：包括缓存机构和传输机构；所述传输机构具有多组传送带，所述多组传送带沿水平方向依次并列排布，且所述多组传送带均连接驱动器一，所述多组传送带在驱动器一的驱动下同步移动；所述传送带用于输送硅片、且所述硅片沿垂直于其传送方向的两侧边部均脱离传送带向外侧延伸；所述缓存机构设置在传送带移动方向上的目标位置，其具有多组缓存架，所述多组缓存架沿水平方向依次并列排布，且所述多组缓存架均连接驱动器二，所述多组缓存架在驱动器二的驱动下同步升降；每组传送带均对应一组缓存架、且各所述缓存架均设置在与之对应的传送带的外侧；每组所述缓存架上均设有多个支架，多个所述支架沿竖直方向彼此间隔的固定在缓存架上，所述支架的另一端向传送带方向延伸，两相邻支架之间具有用于容纳硅片边部的竖直间隙；所述传送带上的硅片被传送至所述目标位置时，所述硅片的两侧边部均进入缓存架上与之等高的竖直间隙；所述缓存架上升时，所述支架撑托硅片上升，使得传送带上的硅片移位至缓存架上；所述缓存架下降时，缓存架上的硅片下料至传送带上。 2.如权利要求1所述的硅片缓存机，其特征在于：各所述传送带均包括彼此平行、且间隔设置的两组皮带，所述两组皮带的两端分别套设在一对主动皮带轮和一对从动皮带轮上，所述一对主动皮带轮共轴线连接在主动轴上，所述一对从动皮带轮共轴线连接在从动轴上；所述多组传送带的主动轴通过联轴器两两连接，所有主动轴连接后的整体连接驱动器一。 3.如权利要求2所述的硅片缓存机，其特征在于：所有传送带的两组皮带之间均设有阻挡器，多组所述阻挡器均连接驱动器三，所述多组阻挡器在驱动器三的驱动下同步升降；沿传送带的传送方向，所述阻挡器设置在缓存架的外侧；所述硅片的边部进入缓存架上与之等高的竖直间隙时，所述阻挡器上升阻挡硅片。 4.如权利要求3所述的硅片缓存机，其特征在于：所述阻挡器为竖向延伸的阻挡板，各所述阻挡板均固定在连接部件上，所述连接部件长度延伸方向上间隔设有两组驱动器三；所述阻挡板上接触于硅片的部位设有倾斜导向部。 5.如权利要求1或3或4所述的硅片缓存机，其特征在于：所述驱动器三为气缸。 6.如权利要求2所述的硅片缓存机，其特征在于：所有传送带的两组皮带之间均设有接近传感器，所述接近传感器靠近支架的中心位置设置。 7.如权利要求2所述的硅片缓存机，其特征在于：环绕的皮带之间设有支撑梁，所述支撑梁上安装有沿传送带传送方向延伸的纠偏导向部件，所述纠偏导向部件的另一端向缓存架方向水平延伸。 8.如权利要求1所述的硅片缓存机，其特征在于：所述多组缓存架均安装在型材骨架上，所述型材骨架连接至相对设置的两组丝杆上，所述两组丝杆的动力端通过同步带连接驱动电机。 9.如权利要求8所述的硅片缓存机，其特征在于：所述缓存架具有安装在型材骨架上的立板，每个缓存架的多个所述支架沿竖直方向彼此间隔的固定在所述立板上；各所述支架均具有两对支板，所述两对支板背靠式安装在立板上，位于同侧的两个所述支板沿硅片的传送方向间隔设置。 10.如权利要求8所述的硅片缓存机，其特征在于：同步带上设有张紧轮。
所属类别：	发明专利