详情

原文传递 X射线衍射装置

专利名称：	X射线衍射装置
摘要：	提供节省用户的时间和劳力并且以简易的结构就能够实现使用反射镜的光学系统和未使用反射镜的光学系统的切换的X射线衍射装置。具备：生成X射线束的X射线源；使X射线束以规定的发散角通过的第一入射路径；使多层膜反射镜反射X射线束，并与通过第一入射路径的X射线束平行地通过的第二入射路径；维持各自的相对位置并且使X射线源、第一入射路径及第二入射路径在规定的方向移动的移动机构；使入射至试样的X射线束通过的入射狭缝；和在相对于入射狭缝而被固定的位置处支承试样S的试样支承台，通过移动机构，对通过第一入射路径或者第二入射路径的X射线束之中通过入射狭缝的X射线束进行切换。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社理学
发明人：	刑部刚;光永彻
专利状态：	有效
申请日期：	2019-03-13T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-08T00:00:00+0800
申请号：	CN201910192376.X
公开号：	CN110308168A
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	王晖
分类号：	G01N23/20008(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	日本国东京都
主权项：	1.一种X射线衍射装置，其特征在于，具备： X射线源，生成X射线束；第一入射路径，使所生成的所述X射线束以规定的发散角通过；第二入射路径，使多层膜反射镜反射所生成的所述X射线束，并与通过所述第一入射路径的X射线束平行地通过；移动机构，维持各自的相对位置并且使所述X射线源、所述第一入射路径及所述第二入射路径在规定的方向移动；入射狭缝，使入射至试样的X射线束通过；和试样支承台，在相对于所述入射狭缝被固定的位置支承试样，通过所述移动机构来切换通过所述第一入射路径或者所述第二入射路径的X射线束之中通过所述入射狭缝的X射线束。 2.根据权利要求1所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述第一入射路径由将所生成的所述X射线束收缩为规定的发散角的第一光圈开口及选择通过所述第一光圈开口的X射线束的第一选择狭缝开口来形成，所述第二入射路径由将所生成的所述X射线束朝着所述多层膜反射镜收缩的第二光圈开口、所述多层膜反射镜及选择被所述多层膜反射镜反射的X射线束的第二选择狭缝开口来形成。 3.根据权利要求1或2所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述多层膜反射镜将所生成的所述X射线束整形为平行光束、聚光光束或者发散光束。 4.根据权利要求1或2所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述X射线衍射装置还具备准直仪保持架，该准直仪保持架在相对于所述入射狭缝而被固定的姿态下保持将通过所述入射狭缝的X射线束收缩的准直仪。 5.根据权利要求1或2所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述移动机构具有在接受到切换通过所述入射狭缝的X射线束的指示时，使所述X射线源、所述第一入射路径及所述第二入射路径移动的电动轴。
所属类别：	发明专利