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原文传递一种PVD靶材搬运车

专利名称：	一种PVD靶材搬运车
摘要：	本实用新型公开了一种PVD靶材搬运车，包括托盘、支撑杆、底架和旋转装置，其中，托盘可转动的设置在支撑杆上，旋转装置分别与支撑杆和托盘设置到一起，用于驱动托盘在支撑杆上旋转，支撑杆设置在底架上；托盘上设有容纳靶材的凹槽，凹槽一端设有第一托扣；底架上设置有移动装置。使用时，托盘水平放置，首先将靶材拆箱，将靶材抬至托盘上的凹槽中，安装靶材顶部端头，通过移动装置移动将靶材运输至待更换立式PVD靶材的设备处，然后摇动旋转装置，托盘从水平旋转为垂直状态，将靶材旋转至垂直位置，第一托扣托住靶材，然后通过行车吊住靶材顶部，通过行车将靶材安装至机台端。提高了安全性，节省了人力成本。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	北京;11
申请人：	北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
发明人：	胥一鑫;徐义
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-29T00:00:00+0800
申请号：	CN201822267838.3
公开号：	CN209554086U
代理机构：	北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：	李海建
分类号：	B65G7/04(2006.01);B;B65;B65G;B65G7
申请人地址：	100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
主权项：	1.一种PVD靶材搬运车，其特征在于，包括托盘、支撑杆、底架和旋转装置，其中，所述托盘可转动的设置在所述支撑杆上，所述旋转装置分别与所述支撑杆和所述托盘设置到一起，用于驱动所述托盘在所述支撑杆上旋转，所述支撑杆设置在所述底架上；所述托盘上设有容纳靶材的凹槽，所述凹槽一端设有第一托扣；所述底架上设置有移动装置。 2.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述旋转装置包括驱动装置、驱动齿轮和被动齿轮，其中，所述被动齿轮固定在所述托盘上，所述驱动齿轮旋转的设置在所述支撑杆上，所述驱动装置与所述驱动齿轮连接。 3.根据权利要求2所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述驱动装置为旋转手柄。 4.根据权利要求2所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述驱动装置为电机。 5.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述托盘的内壁上设置有硅胶保护层。 6.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述托盘的横截面为弧形。 7.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述托盘上设置有固定装置将所述靶材固定在所述托盘中，所述固定装置为固定绳或者固定杆。 8.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述支撑杆为伸缩杆。 9.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述移动装置包括万向轮和刹车装置。 10.根据权利要求1所述的PVD靶材搬运车，其特征在于，所述托盘的另一端设置有第二托扣。
所属类别：	实用新型