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原文传递大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置

专利名称：	大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置
摘要：	大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置，属于颗粒污染物检测技术领域。本发明针对大口径反射镜的工作姿态造成光路中的颗粒污染物易沉积附着于反射镜表面，从而造成反射镜表面的损伤问题。包括外框架、反射镜及光源单元、导轨及图像监测单元，外框架呈长方体，外框架的所有表面设置黑色不透明外包层，形成暗场环境；沿外框架长度方向的一侧边框上设置反射镜及光源单元，反射镜及光源单元用于固定反射镜，并提供光源及实现光源对反射镜辐照角度的调节；另一侧边框的底边上固定沿外框架长度方向的导轨，图像监测单元与导轨滑动连接；图像监测单元用于实现对反射镜不同距离的自动聚焦及图像监测。本发明用于反射镜表面的颗粒污染物检测。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	黑龙江;23
申请人：	哈尔滨工业大学
发明人：	陈明君;刘昊;赵林杰;程健;张德志;蒋晓东;尹朝阳;苗心向;牛龙飞;吕海兵
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-06T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-29T00:00:00+0800
申请号：	CN201910722706.1
公开号：	CN110389089A
代理机构：	哈尔滨市松花江专利商标事务所
代理人：	张利明
分类号：	G01N15/02(2006.01);G;G01;G01N;G01N15
申请人地址：	150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
主权项：	1.一种大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置，其特征在于，包括外框架(1)、反射镜及光源单元(2)、导轨(3)及图像监测单元(4)，所述外框架(1)呈长方体，外框架(1)的所有表面设置黑色不透明外包层，形成暗场环境；沿外框架(1)长度方向的一侧边框上设置反射镜及光源单元(2)，反射镜及光源单元(2)用于固定反射镜，并提供光源及实现光源对反射镜辐照角度的调节；另一侧边框的底边上固定沿外框架(1)长度方向的导轨(3)，图像监测单元(4)与导轨(3)滑动连接；图像监测单元(4)用于实现对反射镜不同距离的自动聚焦及图像监测。 2.根据权利要求1所述的大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置，其特征在于，还包括安装架(5)，所述图像监测单元(4)设置于安装架(5)上，安装架(5)与导轨(3)滑动连接。 3.根据权利要求2所述的大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置，其特征在于，还包括封闭式滑块(6)，所述安装架(5)通过封闭式滑块(6)与导轨(3)滑动连接。 4.根据权利要求3所述的大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置，其特征在于，所述封闭式滑块(6)内部通过钢珠与导轨(3)的钢轴滚动接触连接。 5.根据权利要求1至4中任一项所述的大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置，其特征在于，所述外框架(1)包括30铝型材外框架；所述黑色不透明外包层包括黑色不透明PVC板材层。 6.根据权利要求5所述的大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置，其特征在于，所述反射镜及光源单元(2)通过反射镜及光源安装架(7)连接在外框架(1)长度方向的一侧边框上；所述反射镜及光源安装架(7)包括内侧边框和外侧边框，内侧边框和外侧边框形成长方体相对的两个面；外侧边框固定在外框架(1)的一侧边框上；反射镜及光源单元(2)包括高亮光源转接板(2-1)、旋转铰链(2-2)、高亮光源安装板(2-3)、高亮线阵光源(2-4)、反射镜安装板(2-5)、反射镜(2-6)及反射镜预紧块(2-7)，所述内侧边框内两侧边上各设置一块高亮光源安装板(2-3)，每块高亮光源安装板(2-3)上按上下的方位设置两条水平方向的条形滑槽，每个条形滑槽内连接一个旋转铰链(2-2)，每个高亮光源安装板(2-3)上的两个旋转铰链(2-2)分别通过高亮光源转接板(2-1)与一个高亮线阵光源(2-4)连接；所述光源安装架(7)的内侧边框和外侧边框底边之间连接反射镜安装板(2-5)，反射镜(2-6)通过反射镜预紧块(2-7)固定在反射镜安装板(2-5)上，并居于两块高亮光源安装板(2-3)之间。 7.根据权利要求6所述的大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置，其特征在于，所述旋转铰链(2-2)可带动相应的高亮线阵光源(2-4)实现水平方向180°的旋转。 8.根据权利要求7所述的大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置，其特征在于，所述图像监测单元(4)包括防护挡板(4-1)、挡板安装块(4-2)、运动传动件(4-3)、步进电机(4-4)、电机安装板(4-5)、相机安装板(4-6)、相机(4-7)、镜头电动转接环(4-8)、变焦镜头(4-9)和监测单元安装板(4-10)，监测单元安装板(4-10)安装在安装架(5)上表面；相机(4-7)和变焦镜头(4-9)均设置于监测单元安装板(4-10)上，并且相机(4-7)的位置通过相机安装板(4-6)固定，相机(4-7)和变焦镜头(4-9)之间通过镜头电动转接环(4-8)连接；所述变焦镜头(4-9)的外端口设置防护挡板(4-1)，所述防护挡板(4-1)具有外延的连接臂，所述连接臂通过挡板安装块(4-2)与运动传动件(4-3)的转轴连接，所述转轴与步进电机(4-4)的输出轴连接；所述电机安装板(4-5)在监测单元安装板(4-10)的上表面与其相垂直连接，并位于变焦镜头(4-9)与步进电机(4-4)之间，步进电机(4-4)与运动传动件(4-3)固定于电机安装板(4-5)上。 9.根据权利要求8所述的大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置，其特征在于，所述外框架(1)长2.4米。 10.根据权利要求9所述的大口径反射镜表面颗粒污染物离线暗场检测装置，其特征在于，所述导轨(3)长1.5米。
所属类别：	发明专利