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一种光腔衰荡光谱检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统
| 专利名称： | 一种光腔衰荡光谱检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统 |
| 摘要： | 一种基于光腔衰荡光谱技术检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统，包括依次在光轴上设置的DBF激光器，光学调制器，第一凸镜，小孔和第二凸镜；还包括两个设置于第二凸镜后端的第一、二矩形棱镜，第一矩形棱镜的后端还依次设置有第一滤波片，第一光腔，第一探测装置，第二矩形棱镜的后端还依次设置有第二滤波片，第二光腔，第二探测装置，第一探测装置和第二探测装置分别连接数据采集处理器，系统结构简单，且测量精度高。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 山东;37 |
| 申请人： | 山东非金属材料研究所 |
| 发明人： | 张文申;宋磊;荀其宁;胡国星;冯典英;许峰;侯倩倩;赵晓刚;刘霞;张雨 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-02-28T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-10-29T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201920256521.1 |
| 公开号： | CN209559754U |
| 代理机构： | 北京元本知识产权代理事务所 |
| 代理人： | 岳秀梅 |
| 分类号： | G01N21/39(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 250031 山东省济南市天桥区田家庄东路3号 |
| 主权项： | 1.一种光腔衰荡光谱检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统，其特征在于：其包括依次在光轴上设置的DBF激光器，光学调制器，第一凸镜，小孔和第二凸镜； 还包括两个设置于第二凸镜后端的第一、二矩形棱镜，其中两个矩形棱镜在光轴方向上上下设置，DBF激光器的激光出射方向分别与两个目标光腔的对象探测方向平行，且两个矩形棱镜分别设置于DBF激光器的激光出射方向与两个目标光腔的对象的探测方向的反射曲线上，经过第二凸镜的激光束分别通过在第一、二矩形棱镜中的多次反射后，以出射光向两个目标光腔的对象的探测方向发射； 第一矩形棱镜的后端还依次设置有第一滤波片，第一光腔，第一探测装置，第二矩形棱镜的后端还依次设置有第二滤波片，第二光腔，第二探测装置，第一探测装置和第二探测装置分别连接数据采集处理器。 2.如权利要求1所述的光腔衰荡光谱检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统，其特征在于：第一、二光腔的内底部的两侧，分别对应的设置有第一、二加热器，第一、二加热器分别连接控温器，控温器还连接数据采集处理器。 3.如权利要求2所述的光腔衰荡光谱检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统，其特征在于：第一、二光腔的内底部分别设置有加热层，第一、二加热器设置于加热层内。 4.如权利要求3所述的光腔衰荡光谱检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统，其特征在于：第一、二光腔的内顶部的一侧，分别对应设置有温度传感单元，温度传感单元分别连接测温器。 5.如权利要求4所述的光腔衰荡光谱检测超高纯气体中痕量甲烷含量的系统，其特征在于：第一、二加热器具体为电热丝或者波尔贴。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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