专利名称: |
用于微波等离子体炬激光烧蚀系统的高效出样样品室 |
摘要: |
本发明提供用于微波等离子体炬激光烧蚀系统的高效出样样品室,由气路转接出气口、石英窗槽、样品室主体、气路转接进气口、放样窗槽、底座组成,出气口和进气口位于样品室主体两端并通过平滑过渡连接,石英窗槽和放样窗槽分别位于样品室主体顶部和侧面。本发明样品室主体圆柱形设计,并与进/出口以平滑过渡连接,能大大减少气流死区,保证在低流量载气的情况下,样品气溶胶仍然能顺利出样,极大减少样品在样品室内的残留,提高出样率,也提高后续的检测性能。通过窗槽能够清楚观察样品室内部的情况,提高对激光的精准聚焦及分析位置的精准定位,当系统出现未知问题时,也有利于排查是否是样品室部分的问题,提高系统的可靠性和可控性。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
浙江;33 |
申请人: |
浙江大学 |
发明人: |
金伟;张旭晨;应仰威;黄士罗 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2019-07-19T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-10-22T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201910655050.6 |
公开号: |
CN110361336A |
代理机构: |
杭州求是专利事务所有限公司 |
代理人: |
赵杭丽 |
分类号: |
G01N21/25(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
申请人地址: |
310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号 |
主权项: |
1.一种用于微波等离子体炬激光烧蚀系统的高效出样样品室,其特征在于,由气路转接出气口(1)、石英窗槽(2)、样品室主体(3)、气路转接进气口(4)、放样窗槽(5)、底座(6)组成,气路转接出气口(1)和气路转接进气口(4)位于样品主体(3)的两端,石英窗槽(2)位于样品室主体(3)顶部,放样窗槽(5)位于样品室主体(3)的侧面,样品室主体(3)整体形状是一个圆柱体型,并且与气路转接出气口(1)和气路转接进气口(4)之间平滑过渡,样品室主体(3)置于底座(6)上。 2.根据权利要求1所述的样品室,其特征在于,样品室主体(3)整体形状是一个圆柱体型,样品室主体(3)两端与气路转接出气口(1)和气路转接进气口(4)之间的连接采用平滑过渡为流线型曲面,之间的连接采用胶装、螺纹连接方式,与外部连接时气路转接出气口(1)、气路转接进气口(4)的气路转接气路尽可能短,与样品室主体(3)连接时做到连接处内径一致。 3.根据权利要求1所述的样品室,其特征在于,石英窗槽(2)嵌入石英透光片,使得激光能够透过石英透光片进入到样品室并聚焦在样品表面。 4.根据权利要求3所述的样品室,其特征在于,所述嵌入石英透光片,满足如下3点:(1)嵌入安装后石英透光片应无破裂、无遮挡;(2)石英透光片嵌入后,石英透光片的外沿与石英窗槽(2)的内沿无缝隙紧密连接;(3)石英透光片嵌入后应该与底座(6)的平面平行。 5.根据权利要求1所述的样品室,其特征在于,放样窗槽(5)位于样品室主体(3)的侧面,用于样品的放取更换,在更换完样品后使用橡胶塞塞住放样窗槽(5),防止形成的气溶胶从放样窗槽泄漏。 6.根据权利要求1所述的样品室,其特征在于,底座(6)置于样品室主体3的底部,用于与系统内原有的位置调节系统连接,达到用于样品分析位置的调节的效果。 7.根据权利要求1所述的样品室,其特征在于,整个样品室装置的材料选用透明玻璃材质。 8.权利要求1所述样品室在固体材料表面及内部元素分析的气溶胶高效出样中应用。 |
所属类别: |
发明专利 |