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一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构
| 专利名称： | 一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，属于氮氧传感器技术领域，主要解决的是现有氮氧传感器灵敏度低、应用范围有限的技术问题，所述传感器结构包括衬底，所述衬底设有至少一个凹陷槽，各所述凹陷槽上方设有横跨其两侧的氮氧敏感单元，所述氮氧敏感单元的两端连接所述衬底顶部。本发明可以使氮氧敏感单元与氮氧气体360°全向接触，极大提高了传感器的灵敏度，同时由于氮氧敏感单元与凹陷槽不接触，衬底与氮氧敏感单元的接触面积小，发热面积小，可以达到降低热功耗的目的。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 广西;45 |
| 申请人： | 广西玉柴机器集团有限公司 |
| 发明人： | 郭德明;胡明雪;王磊;梁保权;罗玉军;聂元建;庞邦舜;李春;陈丝雨;张文文 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-08-26T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-11-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910789300.5 |
| 公开号： | CN110398521A |
| 代理机构： | 广州海心联合专利代理事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 王洪娟;冼俊鹏 |
| 分类号： | G01N27/12(2006.01);G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 537000 广西壮族自治区玉林市玉柴新城玉柴大道西侧 |
| 主权项： | 1.一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，包括衬底(1)，所述衬底(1)设有至少一个凹陷槽(2)，各所述凹陷槽(2)上方设有横跨其两侧的氮氧敏感单元(3)，所述氮氧敏感单元(3)的两端连接所述衬底(1)顶部。 2.根据权利要求1所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述氮氧敏感单元(3)包括支撑芯(4)、将所述支撑芯(4)外围包裹的感应膜(5)。 3.根据权利要求2所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述支撑芯(4)包括由Al3O2材料制成的内芯(41)、将所述内芯(41)包裹的SiO2薄膜(42)。 4.根据权利要求2所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述感应膜(5)包括第一感应层(51)、将所述第一感应层(51)外围包裹的第二感应层(52)，所述第一感应层(51)的阻值大于所述第二感应层(52)的阻值。 5.根据权利要求4所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述第一感应层(51)的厚度为6～12μm，所述第一感应层(51)的材料为SnO2里面掺杂Zn，所述Zn的浓度为1～4％，所述SnO2和Zn的颗粒物直径为5～8nm。 6.根据权利要求4所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述第二感应层(52)的厚度为6～12μm，所述第二感应层(52)的材料为SnO2里面掺杂Pt，所述Pt的浓度为1～4％，所述SnO2和Pt的颗粒物直径为5～8nm。 7.根据权利要求1所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述氮氧敏感单元(3)的中部下垂于所述凹陷槽(2)的内腔中。 8.根据权利要求1所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述凹陷槽(2)为半球形的结构。 9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，所述衬底(1)的材料为NiCr。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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