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原文传递物品搬运装置及物品搬运设备

专利名称：	物品搬运装置及物品搬运设备
摘要：	物品搬运装置具备第1移载装置、比第1移载装置靠上方地设置的第2移载装置、支承第1移载装置及第2移载装置且沿上下方向移动的升降体，第1类物品、与该第1类物品种类不同的第2类物品为搬运对象，第1类物品的搬运量比第2类物品的搬运量多，第1移载装置构成为，仅能够将第1类物品和第2类物品中的第1类物品在自身和移载对象部位之间移载，第2移载装置构成为，能够将第1类物品及第2类物品的双方在自身与移载对象部位之间移载，第1移载装置构成为，能够将自身与移载对象部位之间的移载动作与第2移载装置相比以较短时间执行。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社大福
发明人：	坂本纯一;吉冈秀郎;森下良治;高原史雄;花木高介
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-26T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-05T00:00:00+0800
申请号：	CN201910345289.3
公开号：	CN110406872A
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	张泽洲;傅永霄
分类号：	B65G1/04(2006.01);B;B65;B65G;B65G1
申请人地址：	日本大阪府大阪市
主权项：	1.一种物品搬运装置，前述物品搬运装置具备第1移载装置、第2移载装置、升降体，前述第2移载装置设置于比前述第1移载装置靠上方且在沿着上下方向的上下方向观察时与前述第1移载装置重叠的位置，前述升降体将前述第1移载装置及前述第2移载装置支承，且沿前述上下方向移动，其特征在于，第1类物品、与该第1类物品种类不同的第2类物品为搬运对象，前述第1类物品的搬运量比前述第2类物品的搬运量多，前述第1移载装置构成为，仅能够将前述第1类物品和前述第2类物品中的前述第1类物品在自身和移载对象部位之间移载，前述第2移载装置构成为，能够将前述第1类物品及前述第2类物品的双方在自身与前述移载对象部位之间移载，前述第1移载装置构成为，能够将自身与前述移载对象部位之间的前述第1类物品的移载动作与前述第2移载装置相比以较短时间执行。 2.如权利要求1所述的物品搬运装置，其特征在于，前述第1移载装置构成为，进行沿连结前述升降体和前述移载对象部位的方向突出及退回的突出退回动作、沿前述上下方向升降的升降动作作为前述移载动作，前述第2移载装置构成为，除了前述突出退回动作和前述升降动作，还进行保持前述第1类物品或前述第2类物品的保持动作作为前述移载动作。 3.如权利要求1或2所述的物品搬运装置，其特征在于，前述第1移载装置具备第1保持部，前述第1保持部构成为通过从下方支承前述第1类物品的底面来保持，前述第2移载装置具备第2保持部，前述第2保持部构成为能够保持前述第1类物品的上部所具备的第1类被保持部、前述第2类物品的上部所具备的第2类被保持部的任何一个。 4.如权利要求1至3中任一项所述的物品搬运装置，其特征在于，前述第1类物品与前述第2类物品相比前述上下方向的尺寸较大，前述第2移载装置具备用于检测前述第1类物品的第1传感器、用于检测前述第2类物品的第2传感器，前述第1传感器设置于前述第2移载装置保持的前述第1类物品存在的高度且前述第2移载装置保持的前述第2类物品不存在的高度，前述第2传感器设置于前述第2移载装置保持的前述第2类物品存在的高度。 5.如权利要求1至4中任一项所述的物品搬运装置，其特征在于，前述第1移载装置具备第1突出退回机构和第1升降机构，前述第1突出退回机构使保持前述第1类物品的第1保持部向第1退回位置和相对于前述第1退回位置向前述移载对象部位存在的一侧突出的第1突出位置移动，前述第1升降机构使前述第1保持部相对于前述第1突出退回机构向前述上下方向移动，前述第2移载装置具备第2突出退回机构和第2升降机构，前述第2突出退回机构使能够保持前述第1类物品和前述第2类物品的任何一个的第2保持部向第2退回位置和相对于前述第2退回位置向前述移载对象部位存在的一侧突出的第2突出位置移动，前述第2升降机构使前述第2保持部相对于前述第2突出退回机构向前述上下方向移动。 6.如权利要求1至5中任一项所述的物品搬运装置，其特征在于，前述第1类物品是收纳半导体晶圆的晶圆用容器，前述第2类物品是收纳EUV掩膜的EUV用容器、收纳中间掩膜的中间掩膜用容器的至少一方。 7.如权利要求1至6中任一项所述的物品搬运装置，其特征在于，还具备控制前述第1移载装置、前述第2移载装置及前述升降体的动作的控制部，前述控制部执行从前述移载对象部位向前述第1移载装置移载前述第1类物品的第1移载控制、从前述移载对象部位向前述第2移载装置移载前述第2类物品的第2移载控制、从前述移载对象部位向前述第2移载装置移载前述第1类物品的第3移载控制，并且在能够执行前述第1移载控制和前述第3移载控制的双方的情况下，优先执行前述第1移载控制。 8.一种物品搬运设备，前述物品搬运设备具备权利要求1至7中任一项所述的前述物品搬运装置、传送机式搬运装置，其特征在于，前述第2类物品中包括外形尺寸互不相同的第2种物品和第3种物品，前述第1类物品是与前述第2种物品及前述第3种物品的双方外形尺寸不同的第1种物品，前述传送机式搬运装置具备第1传送机及第2传送机、第3传送机，前述第1传送机及第2传送机仅将前述第1种物品、前述第2种物品及前述第3种物品中的前述第1种物品沿水平方向搬运，前述第3传送机仅将前述第1种物品、前述第2种物品及前述第3种物品中的前述第2种物品及前述第3种物品沿水平方向搬运，比前述第1传送机靠上方地设置前述第2传送机和前述第3传送机，前述第1传送机和前述第2传送机被以能够同时执行基于前述第1移载装置的自身和前述第1传送机之间的前述第1种物品的移载、基于前述第2移载装置的自身和前述第2传送机之间的前述第1种物品的移载的间隔配置，前述第1传送机和前述第3传送机被以能够同时执行基于前述第1移载装置的自身与前述第1传送机之间的前述第1种物品的移载、基于前述第2移载装置的自身与前述第3传送机之间的前述第2种物品及前述第3种物品的移载的间隔配置。
所属类别：	发明专利