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原文传递 一种陶瓷盘翻转机构与陶瓷盘送料系统
专利名称: 一种陶瓷盘翻转机构与陶瓷盘送料系统
摘要: 本发明涉及半导体技术领域,具体为一种陶瓷盘翻转机构与陶瓷盘送料系统,用于陶瓷盘的送料过程中,包括安装架、承载结构、以及设于所述安装架上的翻转驱动机构和陶瓷盘输送机构;所述输送机构用以输送陶瓷盘于所述翻转驱动机构;所述承载结构安装于所述翻转驱动机构,以使得陶瓷盘脱离所述输送机构后能够得到支撑;所述翻转驱动机构用于驱动所述承载结构做翻转运动,以使得位于所述承载结构上的陶瓷盘同步发生翻转运动,在本发明中,采用机械翻转的方式,避免了人工翻转的低效率问题;通过承载结构以及翻转驱动机构的设计,使得陶瓷盘在翻转的过程中,无需机械臂的夹持,从而避免了因夹持力问题对陶瓷盘造成损坏。
专利类型: 发明专利
国家地区组织代码: 上海;31
申请人: 上海提牛机电设备有限公司
发明人: 葛永恒;葛林四;韩鹏帅;葛威威;吴士勇
专利状态: 有效
申请日期: 2019-07-05T00:00:00+0800
发布日期: 2019-11-05T00:00:00+0800
申请号: CN201910606561.9
公开号: CN110406979A
代理机构: 上海启核知识产权代理有限公司
代理人: 王仙子
分类号: B65G49/08(2006.01);B;B65;B65G;B65G49
申请人地址: 201499 上海市奉贤区堂富路88号101室
主权项: 1.一种陶瓷盘翻转机构,用于陶瓷盘的送料过程中,其特征在于:包括安装架、承载结构、以及设于所述安装架上的翻转驱动机构和陶瓷盘输送机构; 所述输送机构用以输送陶瓷盘于所述翻转驱动机构; 所述承载结构安装于所述翻转驱动机构,以使得陶瓷盘脱离所述输送机构后能够得到支撑; 所述翻转驱动机构用于驱动所述承载结构做翻转运动,以使得位于所述承载结构上的陶瓷盘同步发生翻转运动。 2.根据权利要求1所述的陶瓷盘翻转机构,其特征在于:所述翻转驱动机构包括伸缩气缸、卡槽轮、旋转框架以及翻转气缸,所述旋转框架在所述安装架上可转动; 所述翻转气缸的输出轴与所述旋转框架转动连接,所述承载结构固定安装于所述旋转框架;所述翻转气缸带动所述旋转框架翻转时,所述承载结构也随之同步发生翻转运动; 所述伸缩气缸与所述旋转框架直接或间接固定连接,以使得所述伸缩气缸能够随着所述旋转框架同步发生转动; 所述卡槽轮直接或间接的相对固定于所述伸缩气缸的输出端,用以支撑所述陶瓷盘。 3.根据权利要求1所述的陶瓷盘翻转机构,其特征在于:所述输送机构包括输送电机和旋转轮,所述输送电机用于驱动所述旋转轮发生转动,以使得所述陶瓷盘被牵引至所述承载结构。 4.根据权利要求1至3任一项所述的陶瓷盘翻转机构,其特征在于:所述承载结构的上安装有滚动轮。 5.根据权利要求1或2所述的陶瓷盘翻转机构,其特征在于:还包括防撞橡胶圈,所述防撞橡胶圈设于所述安装架。 6.根据权利要求1或2所述的陶瓷盘翻转机构,其特征在于:还包括检测传感器,所述检测传感器设于所述安装架,用以检测所述陶瓷盘的翻转位置。 7.根据权利要1或2所述的陶瓷盘翻转机构,其特征在于:还包括设于所述翻转驱动机构上的歪斜辅助机构,所述歪斜辅助机构与所述旋转框架同步发生翻转,且在陶瓷盘做翻转动作的过程中与所述陶瓷盘保持贴合。 8.根据权利要求2所述的陶瓷盘翻转机构,其特征在于:所述伸缩气缸的行程为0-50mm。 9.根据权利要求2所述的陶瓷盘翻转机构,其特征在于:所述翻转气缸的行程为0-300mm。 10.一种陶瓷盘送料系统,其特征在于:包括权利要求1至9任一项所述的陶瓷盘翻转机构。
所属类别: 发明专利
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