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原文传递一种玻璃釉外表面保护的耐高温叉指电极、其制备方法和应用

专利名称：	一种玻璃釉外表面保护的耐高温叉指电极、其制备方法和应用
摘要：	本发明涉及一种玻璃釉外表面保护的耐高温叉指电极及其制备方法，该电极包括基板(2)、叉指电极层(3)和外表面保护层(4)，所述叉指电极层中含有贵金属。其制备方法包括首先在陶瓷基板(2)上形成叉指电极层(3)，然后在其表面光刻制成包含叉指(1)的叉指电极图案，整板涂覆微米级玻璃釉质层，并在高温下进行烧结形成保护层，最后将烧结得到的产品进行划片切割，形成涂覆玻璃釉的叉指电极。本发明的叉指电极通过外部的玻璃釉保护层能够起到良好透气性的同时，不影响信号的传递，并且能够反复使用，提高了电极在高温条件下的使用寿命与稳定性。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	广州钰芯传感科技有限公司
发明人：	奚亚男;胡淑锦
专利状态：	有效
申请日期：	2019-06-21T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-05T00:00:00+0800
申请号：	CN201910540553.9
公开号：	CN110412094A
代理机构：	深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	崔艳峥
分类号：	G01N27/30(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	511400 广东省广州市海珠区中山大学科技园A1001
主权项：	1.一种玻璃釉外表面保护的耐高温叉指电极，其特征在于：包括基板(2)、叉指电极层(3)和外表面保护层(4)，所述叉指电极层中含有贵金属。 2.根据权利要求1所述的玻璃釉外表面保护的耐高温叉指电极，其特征在于，所述基板(2)选自氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷、氮化硅和硅基中的至少一种。 3.根据权利要求1所述的玻璃釉外表面保护的耐高温叉指电极，其特征在于，所述叉指电极层(3)中含有贵金属Pt和/或Au中的至少一种。 4.根据权利要求1-3任一所述的玻璃釉外表面保护的耐高温叉指电极，其特征在于，所述叉指电极层(3)中还含有Ti、W中的至少一种。 5.根据权利要求1所述的玻璃釉外表面保护的耐高温叉指电极，其特征在于，所述外表面保护层(4)为玻璃釉质层，其厚度为5～10μm，所述玻璃釉的主要成分为二氧化硅和硼砂二者的比例范围为1:5至5:1。 6.一种权利要求1所述的玻璃釉外表面保护的耐高温叉指电极的制备方法，其特征在于：包括如下步骤， (1)在陶瓷基板上形成叉指电极层； (2)在其上表面光刻制成叉指电极图案； (3)将步骤(2)得到的产品上表面整板涂覆纳米级玻璃釉质层，并在高温下进行烧结形成保护层； (4)将步骤(3)得到的产品进行划片切割，形成带有玻璃釉的叉指电极。 7.根据权利要求6所述的玻璃釉外表面保护的耐高温叉指电极的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)形成叉指电极层可以采用磁控溅射、丝网印刷两种方法中的至少一种；所述步骤(2)形成叉指电极图形可以采用光刻胶的方式制成。 8.根据权利要求6所述的玻璃釉外表面保护的耐高温叉指电极的制备方法，其特征在于：包括如下步骤： (1)在陶瓷基板表面磁控溅射Ti/Pt/Au或者Ti-W/Pt/Au，每层金属形成叉指电极层； (2)在其上表面旋涂光刻胶，在光刻机下显影曝光制成叉指电极图案； (3)在裸露金属表面再电镀一层金属层，然后采用浓度为0.5-5.0mol/L氢氧化钾溶液去除光刻胶，并对表面清洗； (4)将步骤(3)得到的产品上表面整板涂覆微米级玻璃釉质层，并先以5℃/min的速度升温到300-400℃高温下进行烧结60-80min，然后以10℃/min的速度升温到450-500℃烧结20-40min形成保护层； (5)根据叉指电极尺寸，采用金刚石刀片将步骤(4)得到的产品进行划片切割，形成带有玻璃釉的高温叉指电极。 9.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中电镀的金属层为金层，镀金溶液为柠檬酸金或KAu(CN)2溶液，浓度为以Au计3-5g/L，所述镀金溶液pH值为4.5-6.5，电镀金属层的温度为45-55℃，电流密度1.0-1.5ASF，电沉积时间为5-10min。 10.一种权利要求1-5任一所述的玻璃釉外表面保护的耐高温叉指电极的应用，其特征在于，所述高温叉指电极用于高温环境下的分子检测或超高温气体检测。 11.根据权利要求10所述的应用，所述高温环境下的分子检测为食用油品的老化强度检测。
所属类别：	发明专利