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原文传递一种三电极共面集成的叉指电极的制备方法及应用

专利名称：	一种三电极共面集成的叉指电极的制备方法及应用
摘要：	本发明公开一种三电极共面集成的叉指电极的制备方法及应用。本发明将传统三电极浓缩至叉指电极的一个平面，大幅缩小三电极的尺寸，便于微型传感器的设计与加工，尤其适用于电化学检测的传感器。所述三电极共面集成的叉指电极中，工作电极为电镀黄金、银、镍、铜、钴或上述金属合金层，对电极为铂或碳，参比电极为氯化银，且工作电极和对电极距离大幅缩小，可以消除溶液中的浓差极化，适用于检测电极活化材料的本征催化性能。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	广东;44
申请人：	广州钰芯传感科技有限公司
发明人：	奚亚男;胡淑锦
专利状态：	有效
申请日期：	2019-03-01T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-31T00:00:00+0800
申请号：	CN201910157594.X
公开号：	CN109828012A
代理机构：	深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	崔艳峥
分类号：	G01N27/30(2006.01);G;G01;G01N;G01N27
申请人地址：	511400 广东省广州市南沙区丰泽东路106号(自编1号楼)X1301-B5841(集群注册)(JM)
主权项：	1.一种三电极共面叉指电极，其特征在于：工作电极，参比电极和对电极共平面集成叉指电极，其中，叉指电极中的工作电极为电镀黄金、银、镍、铜、钴或上述金属合金层，叉指中的一指为参比电极，另一指为对电极。 2.根据权利要求1所述的一种三电极共面叉指电极，其特征在于：所述叉指电极为陶瓷、硅片或高分子聚合物基叉指电极。 3.根据权利要求2所述的一种三电极共面叉指电极，其特征在于：所述陶瓷为氧化铝或氮化铝。 4.根据权利要求1所述的一种三电极共面叉指电极，其特征在于：所述对电极镀铂或镀碳，参比电极镀氯化银。 5.根据权利要求1所述的一种三电极共面叉指电极，其特征在于：工作电极和对电极距离在50-100μm之间。 6.根据权利要求1所述的一种三电极共面叉指电极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： (1)将陶瓷基体、硅片或高分子聚合物基材进行激光打孔； (2)将打孔后的基材通过磁控溅射实现表面金属化，包括孔内金属化； (3)将整板基材镀铜形成电镀铜层； (4)将镀完铜的基材再镀金属形成电镀金属层； (5)悬涂光刻胶，将叉指电极在光刻机上曝光，随后显形，形成叉指电极图案； (6)蚀刻形成线路，再在氢氧化钾溶液中去除光刻胶，形成工作电极； (7)将叉指的其中一指电镀铂或碳作为对电极，另一指电镀氯化银作为参比电极，从而形成三电极共面的叉指电极；所述金属层中的金属为黄金、银、镍、铜、钴或上述金属合金。 7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于：所述的电镀铜层用银层或金层取代。 8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)通过磁控溅射形成溅射层，每层溅射层厚度为 9.一种传感器，其包括权利要求1所述的三电极共面叉指电极或权利要求6所述的制备方法制得的三电极共面叉指电极。 10.一种气体检测设备，其特征在于：包含如权利要求9所述的传感器，以及与传感器连接的控制模块、与控制模块连接的输出模块。
所属类别：	发明专利