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用于微型光离子化气体传感器的微型电离室和微型紫外光源一体件
| 专利名称： | 用于微型光离子化气体传感器的微型电离室和微型紫外光源一体件 |
| 摘要： | 用于微型光离子化气体传感器的微型电离室和微型紫外光源一体件，属于传感器制造技术领域，本发明为解决现有光离子化气体传感器体积大、功耗大的问题。本发明包括微型电离室和微型紫外光源；紫外光源腔体键合在电离室腔体的底部，紫外光源腔体的两侧焊接有激发电极，紫外光源腔体内填充有工作气体；激发电极向紫外光源腔体的侧壁施加电压，工作气体在电压的激励下发射真空紫外光；待测气体由进气通孔进入电离室腔体，在真空紫外光的照射发生离子化反应，离子化反应产生的离子和电子在偏置电极形成的电场内定向移动形成离子化电流，离子化电流通过收集电极收集，通过收集电极的引出端反馈至后续检测电路。本发明用于光离子化气体传感器。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 黑龙江;23 |
| 申请人： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 发明人： | 王辉;宋尔冬;孙立凯;徐兴烨;邵志强;毕佳宇;王亚彬 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-08-14T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-11-12T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910749651.3 |
| 公开号： | CN110441385A |
| 代理机构： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 |
| 代理人： | 于歌 |
| 分类号： | G01N27/66(2006.01);G;G01;G01N;G01N27 |
| 申请人地址： | 150001黑龙江省哈尔滨市南岗区一曼街29号 |
| 主权项： | 1.用于微型光离子化气体传感器的微型电离室和微型紫外光源一体件，其特征在于，包括微型电离室和微型紫外光源； 微型电离室包括偏置电极(1)、收集电极(2)和电离室腔体(3)； 电离室腔体(3)的顶部上方蒸镀有偏置电极(1)，电离室腔体(3)的内腔底部蒸镀有收集电极(2)，电离室腔体(3)的顶部和偏置电极(1)上设置有进气通孔，在电离室腔体(3)的侧壁设置有排气孔； 微型紫外光源包括激发电极(4)和紫外光源腔体(5)； 紫外光源腔体(5)键合在电离室腔体(3)的底部，紫外光源腔体(5)的两侧焊接有激发电极(4)，紫外光源腔体(5)内填充有工作气体； 激发电极(4)向紫外光源腔体(5)的侧壁施加电压，工作气体在电压的激励下发射真空紫外光； 待测气体由进气通孔进入电离室腔体(3)，在真空紫外光的照射发生离子化反应，离子化反应产生的离子和电子在偏置电极(1)形成的电场内定向移动形成离子化电流，离子化电流通过收集电极(2)收集，通过收集电极(2)的引出端反馈至后续检测电路。 2.根据权利要求1所述的用于微型光离子化气体传感器的微型电离室和微型紫外光源一体件，其特征在于，所述紫外光源腔体(5)的舱室顶部为窗口玻璃，采用氟化镁玻璃。 3.根据权利要求2所述的用于微型光离子化气体传感器的微型电离室和微型紫外光源一体件，其特征在于，紫外光源腔体(5)的窗口玻璃(6)和电离室腔体(3)尺寸相同。 4.根据权利要求1所述的用于微型光离子化气体传感器的微型电离室和微型紫外光源一体件，其特征在于，激发电极(4)通过绝缘焊料焊接在紫外光源腔体(5)的两侧。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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