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用于多气体测量的微型红外光源及光声气体传感器
| 专利名称： | 用于多气体测量的微型红外光源及光声气体传感器 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种用于多气体测量的微型红外光源及光声气体传感器，所述微型红外光源包括FP滤波芯片、光源壳体、光源芯片和带引脚的底座，所述光源壳体开设有出光通道，所述FP滤波芯片设置在所述出光通道的一端，所述光源芯片位于所述光源壳体中且设置在所述出光通道的另一端，所述带引脚的底座设置在所述光源芯片下方。所述光声气体传感器无需配置多个带有不同透过波段的滤光片的探测器，即可对不同的气体进行测量，从而缩小光声气体传感器的体积。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 河南;41 |
| 申请人： | 郑州炜盛电子科技有限公司 |
| 发明人： | 古瑞琴;强克迪;郭海周;田勇;高胜国;杨志博;汪静 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2023-04-18T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2023-11-03T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN202320870772.5 |
| 公开号： | CN219957333U |
| 代理机构： | 郑州德勤知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 武亚楠 |
| 分类号： | G01N21/17;G01N21/01;G;G01;G01N;G01N21;G01N21/17;G01N21/01 |
| 申请人地址： | 450001 河南省郑州市高新技术开发区金梭路299号 |
| 主权项： | 1.一种用于多气体测量的微型红外光源，其特征在于：包括FP滤波芯片、光源壳体、光源芯片和带引脚的底座，所述光源壳体开设有出光通道，所述FP滤波芯片设置在所述出光通道的一端，所述光源芯片位于所述光源壳体中且设置在所述出光通道的另一端，所述带引脚的底座设置在所述光源芯片下方。 2.根据权利要求1所述的用于多气体测量的微型红外光源，其特征在于：还包括垫片，所述垫片包括矩形导热基片以及设置在所述矩形导热基片四角的金属导热部，所述矩形导热基片设置在所述光源芯片下方，所述金属导热部与所述矩形导热基片连接并延伸至所述光源壳体外设置。 3.根据权利要求1或2所述的用于多气体测量的微型红外光源，其特征在于：所述光源芯片包括衬底，所述衬底刻蚀出背腔，所述背腔上方悬空设置有SiO2支撑层、第一SiN层、第一金属加热丝层、第二SiN层、第二金属加热丝层、SiN保护层和辐射层。 4.根据权利要求3所述的用于多气体测量的微型红外光源，其特征在于：所述辐射层为硅金属微纳结构辐射层。 5.根据权利要求4所述的用于多气体测量的微型红外光源，其特征在于：所述硅金属微纳结构辐射层为纳米铂黑辐射层。 6.根据权利要求3所述的用于多气体测量的微型红外光源，其特征在于：所述第一金属加热丝层为螺旋状金属钨加热丝。 7.根据权利要求3所述的用于多气体测量的微型红外光源，其特征在于：所述第二金属加热丝层为螺旋状金属钨加热丝。 8.根据权利要求1所述的用于多气体测量的微型红外光源，其特征在于：所述出光通道的内表面为二次曲面。 9.一种光声气体传感器，其特征在于：包括权利要求1至8任一项所述用于多气体测量的微型红外光源。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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