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原文传递电子部件测试设备和方法

专利名称：	电子部件测试设备和方法
摘要：	提供了一种用于对电子部件进行测试的设备，包括：图像采集装置，其用于当沿第一方向的光照射所述电子部件时采集所述电子部件的第一图像，并且当沿第二方向的光照射所述电子部件时采集所述电子部件的第二图像，所述第一方向不同于所述第二方向；以及图像组合单元，其用于组合所述第一图像和所述第二图像以生成经组合的图像，在所述经组合的图像中的各个像素处的灰度值的分布表征所述电子部件中的各对应位置处的相对深度。根据所得到的经组合的图像，能够简单地实现对凸起缺陷和/或凹陷缺陷的检测。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	四川;51
申请人：	英特尔产品(成都)有限公司
发明人：	杨维平;姜勇
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-12T00:00:00+0800
申请号：	CN201910711395.9
公开号：	CN110441315A
代理机构：	北京永新同创知识产权代理有限公司
代理人：	吕玥;冯园园
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	611731四川省成都市高新技术开发区西区科新路8-1号
主权项：	1.一种用于对电子部件进行测试的设备，包括：图像采集装置，其用于当沿第一方向的光照射所述电子部件时采集所述电子部件的第一图像，并且当沿第二方向的光照射所述电子部件时采集所述电子部件的第二图像，所述第一方向不同于所述第二方向，其中，所述电子部件是要被测试的电子部件；图像组合单元，其用于组合所述第一图像和所述第二图像以生成经组合的图像，在所述经组合的图像中的各个像素处的灰度值的分布表征所述电子部件中的各对应位置处的相对深度；以及输出单元，其用于将所述经组合的图像输出。 2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述输出单元还包括：显示单元，其用于显示经组合的图像。 3.根据权利要求1所述的设备，还包括：缺陷检测和分类单元，其用于基于所述经组合的图像检测所述电子部件中的凸起缺陷和/或凹陷缺陷；其中，所述输出单元用于输出所述凸起缺陷和/或凹陷缺陷的检测结果。 4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述缺陷检测和分类单元基于预先训练的模型来检测所述电子部件中的凸起缺陷和/或凹陷缺陷，其中，所述预先训练的模型是根据多幅图像训练得到的，所述多幅图像中的每幅示出已知的凸起缺陷和/或凹陷缺陷并且具有相应的灰度值分布。 5.根据权利要求1-4中任一项所述的设备，还包括：照明装置，其用于分别从所述第一方向和所述第二方向照射所述电子部件。 6.根据权利要求根据权利要求1-4中任一项所述的设备，其中所述图像组合单元基于所述第一图像和所述第二图像中对应像素的灰度值确定表示所述第一图像和所述第二图像中的对应像素处的灰度值的差异的数据；基于所述数据确定所述经组合的图像中的每个像素的灰度值。 7.根据权利要求6所述的设备，其中，所述图像组合单元通过如下公式确定所述数据： log(x1+1.0)-log(x2+1.0)，其中，x1是所述第一图像中的一个像素的灰度值，并且x2是所述第二图像中的对应像素的灰度值；并且所述图像组合单元通过对所述数据进行归一化来确定所述经组合的图像中的每个像素的灰度值。 8.根据权利要求1-4中任一项所述的设备，其中，所述第一方向和所述第二方向分别与所述电子部件的表面的夹角处于5°-25°的范围中。 9.一种用于对电子部件进行测试的方法，包括：接收当沿第一方向的光照射所述电子部件时采集的所述电子部件的第一图像和当沿第二方向的光照射所述电子部件时采集的所述电子部件的第二图像，所述第一方向不同于所述第二方向，其中，所述电子部件是要被测试的电子部件；组合所述第一图像和所述第二图像以生成经组合的图像，在所述经组合的图像中的各个像素处的灰度值的分布表征所述电子部件中的各对应位置处的相对深度；以及输出所述经组合的图像。 10.根据权利要求9所述的方法，其中，输出所述经组合的图像还包括：显示所述经组合的图像。 11.根据权利要求9所述的方法，还包括：基于所述经组合的图像检测所述电子部件中的凸起缺陷和/或凹陷缺陷，以及输出所述凸起缺陷和/或凹陷缺陷的检测结果。 12.根据权利要求11所述的方法，其中，基于所述经组合的图像检测所述电子部件中的凸起缺陷和/或凹陷缺陷还包括：基于预先训练的模型来检测所述电子部件中的凸起缺陷和/或凹陷缺陷，其中，所述预先训练的模型是根据多幅图像训练得到的，所述多幅图像中的每幅示出已知的凸起缺陷和/或凹陷缺陷并且具有相应的灰度值分布。 13.根据权利要求根据权利要求9-12中任一项所述的方法，其中，基于所述经组合的图像检测所述电子部件中的凸起缺陷和/或凹陷缺陷还包括：基于所述第一图像和所述第二图像中对应像素的灰度值确定表示所述第一图像和所述第二图像中的对应像素处的灰度值的差异的数据；以及基于所述数据确定所述经组合的图像中的每个像素的灰度值。 14.根据权利要求13所述的方法，其中，基于所述经组合的图像检测所述电子部件中的凸起缺陷和/或凹陷缺陷还包括：通过如下公式确定所述数据： log(x1+1.0)-log(x2+1.0)，其中，x1是所述第一图像中的一个像素的灰度值，并且x2是所述第二图像中的对应像素的灰度值；以及通过对所述数据进行归一化来确定所述经组合的图像中的每个像素的灰度值。 15.根据权利要求9-12中任一项所述的方法，其中，所述第一方向和所述第二方向分别与所述电子部件的表面的夹角处于5°-25°的范围中。 16.一种用于对电子部件进行测试的系统，包括：存储器，其存储计算机程序代码；以及处理器，其运行所述计算机程序代码以执行根据权利要求9-15中的任一项所述的方法。
所属类别：	发明专利