详情

原文传递气相层析设备

专利名称：	气相层析设备
摘要：	一种气相层析设备，包含气路系统、样品注入系统、分离系统、温控系统、检测系统及纪录系统，其中分离系统包含分离流路，分离流路是由半导体制程制出的多个流路单元堆叠组成，每个流路单元是由底基材上制出成形层再堆叠上基材所构成，且于该成形层生成出连续延伸环路连通的导气通路。导气通路中设置填充材，使得载体气体及受测样品于进入分离流路内时被填充材的吸附力所牵引，由于不同的化合物其吸附力也不同，受测样品所含不同的化合物于分离流路内会产生不同的流速，进而使受测样品所含不同的化合物于分离流路内逐渐分离。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	中国台湾;71
申请人：	研能科技股份有限公司
发明人：	莫皓然;薛达伟;黄启峰;韩永隆;郭俊毅
专利状态：	有效
申请日期：	2018-05-04T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-12T00:00:00+0800
申请号：	CN201810419172.0
公开号：	CN110441408A
代理机构：	上海专利商标事务所有限公司
代理人：	喻学兵
分类号：	G01N30/02(2006.01);G;G01;G01N;G01N30
申请人地址：	中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼
主权项：	1.一种气相层析设备，其特征在于，包含：一气路系统，由一载体气体供应源及一稳压恒流装置透过一管路连接而导出流速稳定的一载体气体；一样品注入系统，由一注入装置透过该气路系统的该管路连接而导出一受测样品；一分离系统，包含一分离流路及一填充材，该分离流路连通该气路系统的该管路，且该分离流路是由半导体制程制出的多个流路单元堆叠组成，每个流路单元是由一底基材上制出一成形层再堆叠一上基材所构成，且于该成形层生成出一连续延伸环路连通的导气通路，该上基材并生成出一导气入口，连通于该导气通路一端，以及该底基材生成一导气出口，连通于该导气通路另一端，且底层的该流路单元堆叠上层的该流路单元，以位于上层的该流路单元的该导气出口连通位于底层的该流路单元的该导气通路，促使堆叠的每个流路单元的该导气通路得以相互连通，以及该填充材设置于该分离流路的该导气通路中；一温控系统，供该分离系统置设其中，以对该分离系统维持一操作温度，并控制在一定温度下进行该受测样品的分离操作；一检测系统，该检测系统包含一检测腔室及一检测器，该检测腔室连接该分离系统的该导气出口，该检测器设置于该检测腔室内；一纪录系统，该纪录系统连接该检测系统的该检测器，供以收集该检测器的信号进行气体层相处理分析；借此，该气路系统的该载体气体及该样品注入系统所注入的该受测样品由该管路导出，再由该导气入口导入并流通于该分离流路的该导气通路中，该受测样品中的各成份化合物受该导气通路中的该填充材吸附，造成该受测样品的各成份化合物以不同速度导出于该导气出口并进入该检测系统的该检测腔室中，以该检测系统的该检测器对该受测样品以不同速度导出的各成份化合物作检测，最后由该纪录系统收集该检测器的信号进行该受测样品的测定分析与纪录。 2.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该填充材为具有吸附性的多孔聚合物，填充设置于该导气通路中。 3.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该填充材为具有吸附性的分子筛材料，填充设置于该导气通路中。 4.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该填充材为填充载体上覆盖均匀具有吸附功能的固定液膜，填充设置于该导气通路中。 5.如权利要求4所述的气相层析设备，其特征在于，该填充载体为硅的氧化物，表面具有烃基供以将该固定液膜植上。 6.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该填充材为固定液膜直接涂布在该分离流路的该导气通路之内壁表面附着。 7.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该填充材为固定液膜直接溅镀在该分离流路的该导气通路之内壁表面附着。 8.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该气路系统包含一泵，设置于该管路中，以控制导出流速稳定的该载体气体及该受测样品进入该分离流路的该导气通道中。 9.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该注入系统的该注入装置是供以将该受测样品定量地快速注入并瞬时气化。 10.如权利要求8所述的气相层析设备，其特征在于，该泵为一微机电系统泵。 11.如权利要求8所述的气相层析设备，其特征在于，该泵为一气体泵，其包含：一喷气孔片，包含多个支架、一悬浮片及一中空孔洞，该悬浮片可弯曲振动，该多个支架邻接于该悬浮片周缘并提供该悬浮片弹性支撑，而该中空孔洞形成于悬浮片的中心位置，该喷气孔片透过多个支架设置定位该管路中，并与该导气入口之间形成一气流腔室，且该多个支架及该悬浮片之间形成至少一空隙；一腔体框架，承载叠置于该悬浮片上；一致动体，承载叠置于该腔体框架上，以接受电压而产生往复式地弯曲振动；一绝缘框架，承载叠置于该致动体上；以及一导电框架，承载叠设置于该绝缘框架上；其中，该致动体、该腔体框架及该悬浮片之间形成一共振腔室，透过驱动该致动体以带动该喷气孔片产生共振，使该喷气孔片的该悬浮片产生往复式地振动位移，以造成该载体气体及该受测样品通过该至少一空隙进入该气流腔室，再由该气体流道排出，实现该载体气体及该受测样品的传输流动。 12.如权利要求11所述的气相层析设备，其特征在于，该致动体包含: 一压电载板，承载叠置于该腔体框架上；一调整共振板，承载叠置于该压电载板上；以及一压电板，承载叠置于该调整共振板上，以接受电压而驱动该压电载板及该调整共振板产生往复式地弯曲振动。 13.如权利要求12所述的气相层析设备，其特征在于，该调整共振板的厚度大于该压电载板的厚度。 14.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该检测器为热传导检测器。 15.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该检测器为火焰离子化检测器。 16.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该检测器为电子捕获检测器。 17.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该检测器为火焰光量检测器。 18.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该检测器为热离化检测器。 19.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该检测器为红外线检测器。 20.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该检测器为质谱仪。 21.如权利要求1所述的气相层析设备，其特征在于，该检测器为核磁共振波谱仪。
所属类别：	发明专利