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原文传递光学头和测量设备

专利名称：	光学头和测量设备
摘要：	光学头(10)具有：第1组件(11)，其将泵浦光(5)和斯托克斯光(6)汇聚于第1点(2a)；第2组件(12)，其从第1点获取CARS光(7)；以及第3组件(13)，其支承第1组件和第2组件，第1组件包括：高刚性的第1框架(50)；以及第1光学系统(51)，其包括固定于第1框架的多个光学元件，第2组件包括：高刚性的第2框架(60)；以及第2光学系统(61)，其包括固定于第2框架的多个光学元件，第3组件包括用于固定第1框架和第2框架的高刚性的第3框架(13f)。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	ATONARP株式会社
发明人：	石光义幸
专利状态：	有效
申请日期：	2018-03-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-12T00:00:00+0800
申请号：	CN201880019749.7
公开号：	CN110446917A
代理机构：	北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	刘新宇;张会华
分类号：	G01N21/65(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1.一种光学头，其中，该光学头具有：第1组件，其将用于得到非线性拉曼效果的频率带或频率不同的多束光汇聚于第1点；第2组件，其获取从所述第1点发出的测量对象的光；以及第3组件，其支承所述第1组件和所述第2组件，所述第1组件包括：高刚性的第1框架；以及第1光学系统，其包括固定于所述第1框架的多个光学元件，所述第2组件包括：高刚性的第2框架；以及第2光学系统，其包括固定于所述第2框架的多个光学元件，所述第3组件包括用于固定所述第1框架和所述第2框架的高刚性的第3框架。 2.根据权利要求1所述的光学头，其中，所述第1组件包括在调整了所述第1光学系统所含的至少1个光学元件的相对于所述第1框架的安装位置之后将所述第1光学系统所含的至少1个光学元件的相对于所述第1框架的安装位置固定的机构，所述第2组件包括在调整了所述第2光学系统所含的至少1个光学元件的相对于所述第2框架的安装位置之后将所述第2光学系统所含的至少1个光学元件的相对于所述第2框架的安装位置固定的机构。 3.根据权利要求1或2所述的光学头，其中，所述第1框架包括二维扩展的区域，所述第1光学系统所含的所述多个光学元件二维地配置于所述第1框架。 4.根据权利要求1～3中任一项所述的光学头，其中，所述第2框架包括二维扩展的区域，所述第2光学系统所含的所述多个光学元件二维地配置于所述第2框架。 5.根据权利要求1～4中任一项所述的光学头，其中，该光学头具有第1激光供给单元和第2激光供给单元，该第1激光供给单元和第2激光供给单元供给所述多束光中的至少任一者，并固定于所述第1框架，所述第1光学系统的所述多个光学元件包括构成光学路径的多个光学元件，该光学路径将从所述第1激光供给单元供给的第1激光和从所述第2激光供给单元供给的第2激光向照射到所述第1点的共通的第1物镜引导，该光学头还具有：第1XY位置调整单元，其将所述第1激光供给单元的相对于所述第1激光的光轴垂直的二维方向的位置相对于所述第1框架调整；以及第2XY位置调整单元，其将所述第2激光供给单元的相对于所述第2激光的光轴垂直的二维方向的位置相对于所述第1框架调整。 6.根据权利要求5所述的光学头，其中，该光学头包括：第1准直透镜，其使所述第1激光成为平行光；第2准直透镜，其使所述第2激光成为平行光；第1Z位置调整单元，其将所述第1准直透镜的所述第1激光的光轴方向的位置相对于所述第1框架调整；以及第2Z位置调整单元，其将所述第2准直透镜的所述第2激光的光轴方向的位置相对于所述第1框架调整。 7.根据权利要求6所述的光学头，其中，所述第1Z位置调整单元与所述第1激光供给单元一同借助所述第1XY位置调整单元固定于所述第1框架，所述第2Z位置调整单元与所述第2激光供给单元一同借助所述第2XY位置调整单元固定于所述第1框架。 8.根据权利要求7所述的光学头，其中，所述第1激光供给单元包括相对于所述第1准直透镜来调整相对于所述第1激光的光轴垂直的二维方向的位置的单元，所述第2激光供给单元包括相对于所述第2准直透镜来调整相对于所述第2激光的光轴垂直的二维方向的位置的单元。 9.根据权利要求5～8中任一项所述的光学头，其中，所述第1激光供给单元包括与供给所述第1激光的激光元件或供给所述第1激光的光纤相连接的第1连接器，所述第2激光供给单元包括与供给所述第2激光的激光元件或供给所述第2激光的光纤相连接的第2连接器。 10.根据权利要求5～9中任一项所述的光学头，其中，该光学头包括将所述第1物镜的光轴方向的位置相对于所述第1框架调整的焦点调整单元。 11.根据权利要求1～10中任一项所述的光学头，其中，该光学头具有在所述第1点固定有样品的第4组件，所述第4组件包括固定于所述第3框架的高刚性的第4框架和固定于所述第4框架的样品保持件。 12.根据权利要求11所述的光学头，其中，所述第4组件包括在调整了所述样品保持件的朝向之后将该样品保持件的朝向固定的机构。 13.根据权利要求1～12中任一项所述的光学头，其中，所述第2光学系统的所述多个光学元件包括构成光学路径的多个光学元件，该光学路径从汇聚所述测量对象的光的第2物镜到接收所述测量对象的光的光接收单元为止。 14.根据权利要求13所述的光学头，其中，该光学头包括：第3XY位置调整单元，其将所述光接收单元的相对于所述测量对象的光的光轴垂直的二维方向的位置相对于所述第2框架调整；以及焦点调整单元，其将所述第2物镜的所述测量对象的光的光轴方向的位置相对于所述第2框架调整。 15.根据权利要求13或14所述的光学头，其中，所述光接收单元包括与用于检测所述测量对象的光的检测器或用于将所述测量对象的光向检测器引导的第3光纤相连接的第3连接器。 16.根据权利要求1～15中任一项所述的光学头，其中，所述测量对象的光包括由诱导拉曼散射或相干反斯托克斯拉曼散射中的至少任一者发出的光。 17.一种测量设备，其中，该测量设备具有：权利要求1～15中任一项所述的光学头；光源单元，其输出所述多束光；以及检测器，其检测所述测量对象的光。
所属类别：	发明专利