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原文传递一种单晶硅棒切割装置

专利名称：	一种单晶硅棒切割装置
摘要：	本实用新型涉及晶圆加工设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种单晶硅棒切割装置，其可以通过调节单晶硅棒每一次切割完毕之后的移动距离，从而能够保证每一次切割的单晶硅片厚度一致；并且可以限制内圆切割片的移动轨迹，从而保证单晶硅片的厚度均匀；包括操作台、单晶硅棒、电动机、内圆切割片和切割片支架，切割片支架的设置有四组爪杆；还包括滑轨、四组限位轮、四组支撑杆、移动板，滑轨设置有两组滑动槽，移动板设置有伸缩杆、联动杆、调节把和固定杆，还包括限位器，限位器包括支座、摇杆、转动轴和挡板；还包括两组架杆、两组圆形轨、两组限位轮、动力轴、从动转轴、支撑转轴、动力转轴和皮带，电动机的底端设置有稳定板。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏英锐半导体有限公司
发明人：	王昌华
专利状态：	有效
申请日期：	2018-08-31T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-19T00:00:00+0800
申请号：	CN201821427617.1
公开号：	CN209649183U
代理机构：	常州市权航专利代理有限公司
代理人：	袁兴隆
分类号：	B28D1/22(2006.01);B;B28;B28D;B28D1
申请人地址：	224002 江苏省盐城市经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房
主权项：	1.一种单晶硅棒切割装置，包括操作台(1)、单晶硅棒(2)、电动机(3)、内圆切割片(4)和切割片支架(5)，所述切割片支架(5)的设置有四组爪杆，所述切割片支架(5)的四组爪杆的工作端分别与内圆切割片(4)的内侧壁边缘螺接；其特征在于，还包括滑轨(6)、四组限位轮(7)、四组支撑杆(8)、移动板(9)，所述滑轨(6)的固定端与操作台(1)的顶端左侧连接，所述滑轨(6)设置有两组滑动槽，所述四组限位轮(7)包括两组前轮和两组后轮，所述四组支撑杆(8)包括两组前支撑杆和两组后支撑杆，所述两组前轮分别与两组前支撑杆的底端转动连接，所述两组后轮分别与两组后支撑杆转动连接，所述两组前轮和两组后轮分别转动卡装在滑轨(6)的两组滑动槽内，所述两组前支撑杆的底端与移动板(9)的底端前侧连接，所述两组后支撑杆的底端与移动板(9)的底端后侧连接，移动板(9)设置有伸缩杆(10)、联动杆(11)、调节把(12)和固定杆(13)，所述移动板(9)的内部设置有伸缩腔，所述伸缩腔的底端右侧设置有限位滑口，伸缩腔的前侧壁的左侧设置有调节滑口，所述固定杆(13)的右端与伸缩腔的右侧壁底端连接，所述固定杆(13)的左端与伸缩杆(10)的右下侧活动铆接，所述伸缩杆(10)的底端设置有多组档位杆，所述多组档位杆的底端均自伸缩腔内部穿过限位滑口并伸出至伸缩腔的底侧，所述伸缩杆(10)的左端与联动杆(11)的右端活动铆接，联动杆(11)的左端设置有连接轴，所述调节把(12)的外侧壁中部设置有拉动口，所述联动杆(11)的连接轴的活动端自伸缩腔内部穿过调节滑口并且伸出至伸缩腔外侧，同时连接轴的活动端继续自调节把(12)的内侧穿过拉动口并且伸出到调节把(12)的前侧，所述调节把(12)与联动杆(11)的连接轴通过拉动口活动铆接，还包括限位器，所述限位器包括支座(14)、摇杆(15)、转动轴(16)和挡板(17)，所述支座(14)的底端与滑轨(6)的顶端右侧连接，所述支座(14)的左端和右端连通设置有连通孔，所述转动轴(16)的左端自支座(14)的右端穿过连通孔并伸出至支座(14)的左端，所述转动轴(16)的右端与摇杆(15)的固定端连接，所述转动轴(16)的左端与挡板(17)的固定端连接；还包括两组架杆(18)、两组圆形轨(19)、两组限位轮(20)、动力轴(21)、从动转轴(22)、支撑转轴(23)、动力转轴(24)和皮带(25)，所述电动机(3)的底端设置有稳定板，所述稳定板的左端与操作台(1)的右侧壁底端连接，所述电动机(3)的输出端与动力转轴(24)固定套装，所述支撑转轴(23)的左端转动设置有挑杆，所述挑杆的左端与操作台(1)的右侧壁连接，所述从动转轴(22)、支撑转轴(23)和动力转轴(24)分别与皮带(25)转动套装，所述从动转轴(22)的左端中心区域与动力轴(21)的右端连接，所述转动轴(16)分别与两组限位轮(20)转动套装，所述两组架杆(18)的底端均与操作台(1)的顶端右侧连接，所述两组架杆(18)的顶端分别与两组圆形轨(19)的底端连接，所述两组圆形轨(19)均设置有限位轨道，所述两组限位轮(20)分别转动卡装在两组限位轨道上，并且两组限位轮(20)均设置有两组卡装片，所述两组限位轮(20)均通过两组卡装片分别与两组圆形轨(19)的左侧壁和右侧壁紧贴，动力轴(21)的左端与切割片支架(5)的固定端连接。 2.如权利要求1所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括挤压转轴(26)、摆动杆(27)、强力扭簧(28)和侧位杆(29)，所述侧位杆(29)的左端与操作台(1)的右侧壁上侧连接，侧位杆(29)的右端与摆动杆(27)的底端活动铆接，所述侧位杆(29)的顶端中部设置有插入槽，所述插入槽顶端设置有插入口，所述摆动杆(27)的左侧壁设置有拉伸槽，所述拉伸槽的左侧设置有拉伸口，所述强力扭簧(28)的固定端自插入槽外侧穿过插入口并且伸入到插入槽内部，强力扭簧(28)的转动端自拉伸槽的外侧穿过拉伸口并且伸入到拉伸槽内部，所述摆动杆(27)的右侧壁顶端设置有连接杆，摆动杆(27)通过连接杆的右端与挤压转轴(26)转动连接，所述挤压转轴(26)的圆周壁与皮带(25)的外侧壁紧贴。 3.如权利要求2所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括两组压板(30)、两组托板(31)、两组支持杆(32)、四组长杆螺丝(33)和四组双耳螺母(34)，所述两组支持杆(32)的底端分别与移动板(9)的顶端的左侧和右侧连接，所述两组支持杆(32)的顶端分别与两组托板(31)的底端连接，两组托板(31)的前侧和后侧的顶端中部和底端中部均连通设置有螺纹孔，以及两组压板(30)的前侧和后侧的顶端中部和底端中部均设置有螺纹孔，所述四组长杆螺丝(33)分别自两组托板(31)下侧螺接穿过两组托板(31)的四组螺纹孔并且伸出至两组托板(31)的上册，然后四组长杆螺丝(33)分别自两组压板(30)的下侧螺接穿过两组压板(30)的四组螺纹孔并伸出至两组压板(30)的上侧，所述四组双耳螺母(34)的螺纹端分别与四组长杆螺丝(33)螺接，所述两组压板(30)内侧底端均设置有防滑皮垫。 4.如权利要求3所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括活动环(35)和操作杆(36)，所述活动环(35)与动力轴(21)转动套装，并且活动环(35)位于两组圆形轨(19)之间，所述活动环(35)的顶端与操作杆(36)的底端连接。 5.如权利要求4所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括单头螺丝(37)，所述调节把(12)的前侧壁上侧和后侧壁上侧连通设置有螺纹孔，所述单头螺丝(37)自调节把(12)的前侧螺接穿过螺纹孔并且伸入到调节把(12)的后侧，所述调节把(12)的螺纹端与移动板(9)的前侧壁左侧紧贴。 6.如权利要求5所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括圆柱透明保护板(38)，所述圆柱透明保护板(38)的顶端外侧壁、顶端外侧壁、前端外侧壁和后端外侧壁分别与切割片支架(5)的四组爪杆内侧壁连接。 7.如权利要求6所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括推动把手(39)，所述推动把手(39)的固定端与移动板(9)左端外侧壁连接。 8.如权利要求7所述的一种单晶硅棒切割装置，其特征在于，还包括弯曲支杆(40)、压缩弹簧(41)和侧滑杆(42)，所述弯曲支杆(40)的内部设置有压缩腔，所述侧滑杆(42)的顶端与摇杆的前侧壁连接，所述压缩腔的顶端设置有卡位口，所述侧滑杆(42)的底端设置有限位片，所述侧滑杆(42)的底端自压缩腔的外侧穿过卡位口并且伸入到压缩腔内，所述侧滑杆(42)的底端通过限位片与压缩腔的顶端活动卡装，所述压缩弹簧(41)的底端与压缩腔的底端连接，所述压缩弹簧(41)的顶端与侧滑杆(42)的限位片的底端紧贴。
所属类别：	实用新型