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刻蚀液气泡改善装置及浓度测量系统
| 专利名称： | 刻蚀液气泡改善装置及浓度测量系统 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种刻蚀液气泡改善装置及浓度测量系统。刻蚀液气泡改善装置包括采样泵、增压泵和第一流量调节阀，所述增压泵设置在所述采样泵的出口端，所述增压泵的出口端设有回流管路和浓度测量管路，所述第一流量调节阀设置在所述回流管路上。本实用新型通过增压泵和第一流量调节阀的设置，提高了气泡排出的效率，同时极大的降低刻蚀液浓度测量管路中的气泡含量，使得刻蚀液的浓度的测量和控制更加精准。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 四川;51 |
| 申请人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 发明人： | 陈晓果 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-01-07T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-11-19T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201920021511.X |
| 公开号： | CN209656387U |
| 代理机构： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 张芳;刘芳 |
| 分类号： | G01N1/28(2006.01);G;G01;G01N;G01N1 |
| 申请人地址： | 610200 四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号 |
| 主权项： | 1.一种刻蚀液气泡改善装置，包括采样泵，其特征在于，还包括增压泵和第一流量调节阀，所述增压泵设置在所述采样泵的出口端，所述增压泵的出口端设有回流管路和浓度测量管路，所述第一流量调节阀设置在所述回流管路上。 2.根据权利要求1所述的刻蚀液气泡改善装置，其特征在于，所述增压泵与所述采样泵之间设有第二流量调节阀。 3.根据权利要求1所述的刻蚀液气泡改善装置，其特征在于，所述回流管路的通径小于所述浓度测量管路的通径。 4.根据权利要求1所述的刻蚀液气泡改善装置，其特征在于，所述回流管路的压力小于所述浓度测量管路的压力。 5.根据权利要求1所述的刻蚀液气泡改善装置，其特征在于，所述浓度测量管路上设有流量计。 6.根据权利要求5所述的刻蚀液气泡改善装置，其特征在于，所述流量计为浮子流量计。 7.根据权利要求1所述的刻蚀液气泡改善装置，其特征在于，所述浓度测量管路上设有第三流量调节阀。 8.一种刻蚀液浓度测量系统，其特征在于，包括如权利要求1-7中任一项所述的刻蚀液气泡改善装置。 9.根据权利要求8所述的刻蚀液浓度测量系统，其特征在于，还包括位于所述浓度测量管路上的冷却装置，所述冷却装置设置在所述增压泵的出口端。 10.根据权利要求8所述的刻蚀液浓度测量系统，其特征在于，还包括刻蚀液储存罐，多个所述刻蚀液储存罐通过独立的泵送管道分别与所述采样泵连接。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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