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用于真空紫外BRDF特性测量的系统
| 专利名称： | 用于真空紫外BRDF特性测量的系统 |
| 摘要： | 本发明涉及光学测试技术领域，公开了一种用于真空紫外BRDF特性测量的系统。该系统包括：真空紫外探测器、探测转臂、转臂旋转中心、探测转台、样品转台和样品平移台，其中，所述真空紫外探测器设置在所述探测转臂上，所述转臂旋转中心带动所述探测转臂进行绕水平轴的旋转运动，所述探测转台带动所述探测转臂进行绕垂直轴的旋转运动，所述样品转台带动待测样品进行绕垂直轴的旋转运动，所述样品平移台带动所述待测样品进行沿水平方向的平移运动，以对所述待测样品进行多角度漫反射信号探测，得到所述待测样品的BRDF值。由此，可以实现对待测样品的双向反射分布函数进行精确测量。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 北京振兴计量测试研究所 |
| 发明人： | 孙广尉;孙红胜;王加朋;张玉国;宋春晖;曹清政;何立平 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-05-09T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-11-19T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201810435109.6 |
| 公开号： | CN110470636A |
| 分类号： | G01N21/47(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 100074 北京市丰台区云岗北区西里1号院30号楼 |
| 主权项： | 1.一种用于真空紫外BRDF特性测量的系统，其特征在于，该系统包括：真空紫外探测器、探测转臂、转臂旋转中心、探测转台、样品转台和样品平移台，其中，所述真空紫外探测器设置在所述探测转臂上，所述转臂旋转中心带动所述探测转臂进行绕水平轴的旋转运动，所述探测转台带动所述探测转臂进行绕垂直轴的旋转运动，所述样品转台带动待测样品进行绕垂直轴的旋转运动，所述样品平移台带动所述待测样品进行沿水平方向的平移运动，以对所述待测样品进行多角度漫反射信号探测，得到所述待测样品的BRDF值。 2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述待测样品为真空紫外漫反射板。 3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述探测转臂的转动角度范围为-45°至+45°。 4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述探测转台的转动角度范围为-90°至+90°。 5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述样品转台的转动角度范围为-90°至+90°。 6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述样品平移台的平移范围为-100mm至+100mm。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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