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原文传递纳米压痕加热装置以及相应的纳米压痕测试仪

专利名称：	纳米压痕加热装置以及相应的纳米压痕测试仪
摘要：	本实用新型涉及微/纳米仪器领域，具体涉及一种纳米压痕加热装置以及相应的纳米压痕测试仪。本实用新型的散热带末端与扫描电镜(SEM)墙壁连接，形成散热通道，减少了散热系统设计、安装复杂度，提高整个系统工作过程中高温稳定性能，同时本实用新型用于加热在SEM真空环境中纳米线至800℃，可在短时间内能够将加热平台升温并稳定在在800℃，同时靠近连接部件底部位置温度保持在40℃‑60℃，避免高温影响设置在连接部件上的元器件，有效降低了纳米力学性能测试仪工作过程中热漂移以及元器件使用风险。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司
发明人：	陈科纶;谷森;朱军辉;孙钰;汝长海
专利状态：	有效
申请日期：	2019-02-25T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-22T00:00:00+0800
申请号：	CN201920235150.9
公开号：	CN209673683U
代理机构：	苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	郭磊
分类号：	G01N23/22(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	215100 江苏省苏州市相城区高铁新城环秀湖大厦(原怡城园艺)南三、四楼
主权项：	1.一种纳米压痕加热装置，其特征在于，包括加热机构、连接部件以及散热机构，所述加热机构穿设在所述散热机构上，且所述散热机构与所述加热机构之间设置有间隙，所述散热机构设置在所述连接部件上；所述散热机构包括散热块以及散热带，所述散热带一端通过高温胶与所述散热块的外表面连接，所述散热块放置在连接装置上，所述散热带的自由端与SEM的内侧墙壁连接形成散热通道。 2.如权利要求1所述的纳米压痕加热装置，其特征在于，所述散热块为紫铜块，所述散热带为紫铜带。 3.如权利要求1所述的纳米压痕加热装置，其特征在于，所述加热机构包括加热平台、隔热罩，所述加热平台内设有加热丝，所述加热平台设置在所述隔热罩上，所述加热平台底部设置有加热杆，且所述加热杆穿设在所述隔热罩内，且所述加热杆下端与隔热罩底部之间设有间隙。 4.如权利要求3所述的纳米压痕加热装置，其特征在于，所述加热杆垂直设置在所述加热平台中心部，所述加热平台与所述加热杆为一体成型结构，所述隔热罩为空心结构，所述加热平台设置在所述隔热罩上。 5.如权利要求3所述的纳米压痕加热装置，其特征在于，所述加热平台为氧化铝陶瓷材料制成，所述隔热罩为陶瓷玻璃材料制成。 6.如权利要求3所述的纳米压痕加热装置，其特征在于，还包括测试传感器，所述隔热罩与测试传感器通过力所述连接部件连接，所述连接部件为铝合金材料制成。 7.如权利要求1所述的纳米压痕加热装置，其特征在于，所述散热块上开有一通孔，所述加热机构设置在所述通孔内，且所述加热机构穿设在所述通孔上，且所述加热机构与所述通孔内壁之间设置有间隙。 8.一种纳米压痕测试仪，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的纳米压痕加热装置。
所属类别：	实用新型