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原文传递一种刀侧喷头组件、刀片冷却装置及划片机

专利名称：	一种刀侧喷头组件、刀片冷却装置及划片机
摘要：	本发明涉及晶圆加工设备技术领域，特别涉及一种刀侧喷头组件、刀片冷却装置及划片机。该划片机包括机架、空气静压高速主轴和刀片冷却装置，刀片冷却装置安装在主轴的用于安装刀片的一端；刀片冷却装置包括固定座、刀片主冷却喷头和刀侧喷头组件；刀片主冷却喷头安装在固定座上；刀侧喷头组件安装在固定座上，刀侧喷头组件包括喷头座和刀侧喷头，刀侧喷头安装在喷头座上，具有用于从刀片的轴向旁侧对刀片进行喷吹的喷吹管段；在使用时喷吹管段处于刀片外侧的刀侧喷头转动或通过万向接头可摆动的安装在喷头座上，且能转动或摆动至在轴向上避开刀片的位置处。该划片机用于解决现有的刀片冷却装置使划片机中的刀片更换操作较麻烦的问题。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	河南;41
申请人：	郑州光力瑞弘电子科技有限公司
发明人：	赵彤宇;孙亚辉;陈志辉;吴振波;兰剑
专利状态：	有效
申请日期：	2019-08-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-26T00:00:00+0800
申请号：	CN201910750193.5
公开号：	CN110497541A
代理机构：	郑州睿信知识产权代理有限公司
代理人：	王子龙
分类号：	B28D5/00(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	450000 河南省郑州市航空港区郑港六路与郑港二街交叉口东100米豫发蓝山公馆二楼229号
主权项：	1.刀侧喷头组件，包括：喷头座；刀侧喷头，安装在喷头座上，具有用于从刀片的轴向旁侧对刀片进行喷吹的喷吹管段；其特征是，在使用时喷吹管段处于刀片外侧的刀侧喷头转动或通过万向接头可摆动的安装在喷头座上，且能转动或摆动至在轴向上避开刀片的位置处。 2.根据权利要求1所述的刀侧喷头组件，其特征是，在使用时喷吹管段处于刀片外侧的刀侧喷头转动安装在喷头座上，且转动轴线竖向延伸。 3.根据权利要求2所述的刀侧喷头组件，其特征是，刀侧喷头为包括水平边和竖直边的L形管，水平边构成所述喷吹管段，L形管通过其竖直边转动安装在喷头座上。 4.根据权利要求3所述的刀侧喷头组件，其特征是，喷头座上设有供用于连接冷却介质输送管道的接头安装的安装孔，喷头座内设有冷却介质流道，刀侧喷头密封转动安装在喷头座上并与冷却介质流道连通。 5.根据权利要求4所述的刀侧喷头组件，其特征是，喷头座内的冷却介质流道竖向延伸，喷头座内绕竖向轴线转动安装有空心轴，空心轴与喷头座的转动配合面之间安装有O形圈，竖直边与空心轴固定连接且竖直边的内腔与空心轴内腔连通。 6.根据权利要求5所述的刀侧喷头组件，其特征是，空心轴、与空心轴的内腔直接连通的冷却介质流道及L形管的竖直边均同轴。 7.根据权利要求1或2所述的刀侧喷头组件，其特征是，喷头座上设有供用于连接冷却介质输送管道的接头安装的安装孔，喷头座内设有冷却介质流道，刀侧喷头密封转动安装在喷头座上并与冷却介质流道连通。 8.一种刀片冷却装置，其特征是，包括：固定座，用于固定安装在划片机的空气静压高速主轴的安装刀片的一端；刀片主冷却喷头，安装在固定座上，用于正对刀片的前侧喷出冷却介质；如权利要求1-7任意一项所述的刀侧喷头组件，安装在固定座上。 9.一种划片机，其特征是，包括：机架；空气静压高速主轴；如权利要求8所述的刀片冷却装置，安装在空气静压高速主轴的用于安装刀片的一端。
所属类别：	发明专利