专利名称: |
用于晶圆划片切割的刀片组件及包含其的切割机 |
摘要: |
本发明公开了一种用于晶圆划片切割的刀片组件及包含其的切割机,所述用于晶圆划片切割的刀片组件包括第一开槽刀片体和切割刀片体,所述切割刀片体连接于所述第一开槽刀片体,且所述切割刀片体的外缘相对于所述第一开槽刀片体的外缘向外凸起。所述切割机包括有刀架和如上所述的用于晶圆划片切割的刀片组件,所述用于晶圆划片切割的刀片组件连接于所述刀架。本发明的用于晶圆划片切割的刀片组件及包含其的切割机,实现一次切割完成,无需频繁切换刀片,大大提高了切割效率。 |
专利类型: |
发明专利 |
国家地区组织代码: |
江苏;32 |
申请人: |
昆山扬明光学有限公司 |
发明人: |
方军华;汪进;邹志伟;廖育民 |
专利状态: |
有效 |
发布日期: |
2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201810350104.3 |
公开号: |
CN108724493A |
代理机构: |
上海弼兴律师事务所 31283 |
代理人: |
薛琦;罗洋 |
分类号: |
B28D5/02(2006.01)I;B;B28;B28D;B28D5;B28D5/02 |
申请人地址: |
215300 江苏省苏州市昆山综合保税区第三大道20号 |
主权项: |
1.一种用于晶圆划片切割的刀片组件,其特征在于,其包括第一开槽刀片体和切割刀片体,所述切割刀片体连接于所述第一开槽刀片体,且所述切割刀片体的外缘相对于所述第一开槽刀片体的外缘向外凸起。 |
所属类别: |
发明专利 |