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原文传递一种晶圆片湿式切割用划片机

专利名称：	一种晶圆片湿式切割用划片机
摘要：	本实用新型涉及晶圆片划片技术领域，且公开了一种晶圆片湿式切割用划片机，包括划片机机体，所述划片机机体的顶部固定安装有第一滑轨，所述第一滑轨的顶部活动安装有第二滑轨，所述第二滑轨的顶部活动安装有第一滑块，所述第一滑块的顶部固定安装有工作台。该晶圆片湿式切割用划片机，通过液压缸的伸缩运动，可以带动固定杆运动，从而带动第二滑块左右运动，进而带动超高压水射流发生器左右运动，完成划片动作，通过超高压水射流发生器，可以使得水高速通过水喷头排出，形成水刀，对晶圆片进行划片工作，采用这种湿式切割的方式划片，精度更高，并且无污染，同时不会产生高温，有一定的保护作用。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	泰州芯格电子科技有限公司
发明人：	李凤丽
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-13T00:00:00+0800
发布日期：	2019-10-11T00:00:00+0800
申请号：	CN201821865428.2
公开号：	CN209478632U
分类号：	B28D5/00(2006.01);B;B28;B28D;B28D5
申请人地址：	225500 江苏省泰州市姜堰区罗塘街道南环西路1001号
主权项：	1.一种晶圆片湿式切割用划片机，包括划片机机体(1)，其特征在于：所述划片机机体(1)的顶部固定安装有第一滑轨(2)，所述第一滑轨(2)的顶部活动安装有第二滑轨(3)，所述第二滑轨(3)的顶部活动安装有第一滑块(4)，所述第一滑块(4)的顶部固定安装有工作台(5)，所述工作台(5)的内部设置有漏水孔(6)，所述第一滑块(4)的底部固定安装有限位块(7)，所述第二滑轨(3)的内部固定安装有电机(8)，所述电机(8)的输出轴固定安装有齿轮(9)，所述齿轮(9)与限位块(7)啮合，所述划片机机体(1)的顶部固定安装有支撑架(10)，所述支撑架(10)的底部固定安装有第三滑轨(11)，所述第三滑轨(11)的底部活动安装有第二滑块(12)，所述第二滑块(12)的底部固定安装有超高压水射流发生器(13)，所述超高压水射流发生器(13)的底部固定安装有水喷头(14)，所述划片机机体(1)的内壁左侧固定安装有液压缸(15)，所述液压缸(15)的左侧固定安装有固定杆(16)，所述固定杆(16)与第二滑块(12)固定安装，所述划片机机体(1)的底部固定安装有底座(17)，所述划片机机体(1)的底部固定安装有万向轮(18)。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述限位块(7)延伸至第二滑轨(3)的内部，限位块(7)的底部开设有齿轮槽，齿轮槽与齿轮(9)相适配。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述第二滑轨(3)的左右两侧开设有滑槽，滑槽与第一滑块(4)相适配。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述底座(17)的数量为四个，四个底座(17)均匀分布于划片机机体(1)的底部四角，底座(17)的外部螺纹连接有固定螺母。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述万向轮(18)的数量为四个，四个万向轮(18)均匀分布于划片机机体(1)的底部四角。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆片湿式切割用划片机，其特征在于：所述漏水孔(6)的数量为两个，工作台(5)的顶部开设有安装孔，安装孔位于漏水孔(6)的上方。
所属类别：	实用新型