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原文传递一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机

专利名称：	一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机
摘要：	本发明涉及砂轮划片机技术领域，且公开了一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶部固定连接有顶板，所述顶板的底部设置有切割结构，所述底座的顶部设置有辅助结构，所述辅助结构的内部设置有滑动结构，所述切割结构包括电动伸缩缸。该具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机，通过将晶圆放置在放置板的顶部，然后启动电动液压缸，电动液压缸带动液压杆，使液压杆带动直齿条和推动板对晶圆进行固定和限位，同时通过启动电机，电机带动转动轴，使转动轴带动皮带本体和第一滚轮转动，这样第一滚轮就可以带动放置板向左侧移动，便于对晶圆进行移动定位切割。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	湖南;43
申请人：	湖南艾凯瑞斯智能科技有限公司
发明人：	胡天;龚胜;陈逢军;徐志强
专利状态：	有效
申请日期：	2021-12-14T00:00:00+0800
发布日期：	2022-03-25T00:00:00+0800
申请号：	CN202111525868.X
公开号：	CN114227959A
代理机构：	长沙中科启明知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	谭勇
分类号：	B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00;B24B27/06;B;B28;B24;B28D;B24B;B28D5;B28D7;B24B27;B28D5/02;B28D7/04;B28D7/00;B24B27/06
申请人地址：	410000 湖南省长沙市高新开发区谷苑路186号湖南大学科技园创业大厦301A06室
主权项：	1.一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有支撑柱(2)，所述支撑柱(2)的顶部固定连接有顶板(3)，所述顶板(3)的底部设置有切割结构(4)，所述底座(1)的顶部设置有辅助结构(5)，所述辅助结构(5)的内部设置有滑动结构(6)；所述切割结构(4)包括电动伸缩缸(41)，所述电动伸缩缸(41)的底部固定连接在顶板(3)的顶部，所述电动伸缩缸(41)的内部活动连接有伸缩杆(42)，所述伸缩杆(42)的底部固定连接有连接板(43)，所述连接板(43)的底部固定连接有U形架(44)，所述U形架(44)的内部转动连接有划片砂轮(45)，所述划片砂轮(45)的输出端固定连接有驱动机(46)，所述连接板(43)的顶部设置有冲洗结构(47)。 2.根据权利要求1所述的一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述冲洗结构(47)包括水箱(471)，所述水箱(471)的底部固定连接在顶板(3)的顶部，所述水箱(471)的顶部固定连通有收缩管(472)，所述收缩管(472)的底端固定连通有水泵(473)，所述水泵(473)的右侧内部固定连通有进水管(474)，所述进水管(474)的底端固定连通有存水管(475)，所述存水管(475)的底部活动安装有喷水头(476)。 3.根据权利要求2所述的一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述辅助结构(5)包括工作台(51)，所述工作台(51)的底部固定连接在底座(1)的顶部，所述工作台(51)的顶部开设有限位槽(52)，所述工作台(51)的内部靠近限位槽(52)的底部开设有矩形槽(53)，所述工作台(51)的内部转动连接有转动轴(54)，所述转动轴(54)的前端外壁固定连接有皮带轮(55)，所述皮带轮(55)的外壁转动连接有皮带本体(56)，所述转动轴(54)的外壁固定连接有第一滚轮(57)，所述转动轴(54)的后端外壁固定连接在电机(58)的内部，所述工作台(51)的内部设置有稳定结构(59)，所述工作台(51)的内部靠近限位槽(52)的一侧开设有滑槽(510)。 4.根据权利要求3所述的一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述稳定结构(59)包括空腔(591)，所述空腔(591)开设在工作台(51)的内部，所述空腔(591)的顶部开设有连接槽(592)，所述空腔(591)的内壁固定连接有固定块(593)，所述固定块(593)的右侧内部活动连接有第一活动轴(594)，所述第一活动轴(594)的外壁活动连接有活动架(595)，所述活动架(595)的底端内部活动连接有第二活动轴(596)，所述第二活动轴(596)的外壁活动连接有滑轮(597)，所述活动架(595)的底端外壁固定连接有第一弹簧(598)，所述滑轮(597)的一侧滑动连接有梯形块(599)，所述梯形块(599)的后侧外壁固定连接有滑动块(5910)，所述滑动块(5910)的外壁滑动连接在滑动槽(5911)的内部，所述活动架(595)的顶端右侧固定连接有第二弹簧(5912)，所述梯形块(599)的底端内部活动安装有第二滚轮(5913)。 5.根据权利要求4所述的一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述滑动结构(6)包括放置板(61)，所述放置板(61)活动连接在限位槽(52)的内部，所述放置板(61)的顶部固定连接有限位板(62)，所述限位板(62)的内部开设有通孔(63)，所述通孔(63)的内部设置有限位结构(64)。 6.根据权利要求5所述的一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述限位结构(64)包括直齿条(641)，所述直齿条(641)活动连接在通孔(63)的内部，所述直齿条(641)的后端固定连接有液压杆(642)，所述液压杆(642)的后端外壁活动连接在电动液压缸(643)的内部，所述电动液压缸(643)的底部固定连接在放置板(61)的顶部，所述直齿条(641)的前端固定连接有推动板(644)，所述推动板(644)的前侧固定连接有橡胶垫(645)，所述直齿条(641)的右侧外壁和齿轮(646)的外壁相啮合，所述齿轮(646)的内部活动连接在固定轴(647)的外壁，所述固定轴(647)的底部固定连接在通孔(63)的内部。 7.根据权利要求6所述的一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述驱动机(46)的后侧固定安装在U形架(44)的前侧外壁，所述存水管(475)的底部贯穿连接板(43)的内部，所述水泵(473)的底部固定连接在存水管(475)的顶部。 8.根据权利要求7所述的一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述矩形槽(53)的内部活动连接有第一滚轮(57)，所述工作台(51)的内部靠近空腔(591)的一侧开设有滑动槽(5911)，所述活动架(595)的数量有两个，且每个活动架(595)的大小相同。 9.根据权利要求8所述的一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述滑槽(510)的内部滑动连接有放置板(61)，所述放置板(61)的前侧顶部活动连接有第二滚轮(5913)，所述放置板(61)的底部活动连接有第一滚轮(57)，所述第一滚轮(57)的数量有若干个，且每个第一滚轮(57)的大小相同。 10.根据权利要求9所述的一种具有辅助切割定位的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述电机(58)的前侧固定连接在工作台(51)的后侧外壁，所述限位结构(64)的数量有六个，且每个限位结构(64)的大小相同。
所属类别：	发明专利