原文传递
一种原位液体池芯片及其制作方法
| 专利名称： | 一种原位液体池芯片及其制作方法 |
| 摘要： | 本发明公开一种原位液体池芯片及其制作方法，所述原位液体池芯片包括底片和盖片，所述盖片由两面带有氮化硅薄膜层的硅基片制成，所述盖片上有两个对称的注液口和一个位于中心位置的电子束视窗；所述底片由两面带有氮化硅薄膜层的硅基片制成，所述底片包括粘结层和观察视窗，所述粘结层一般为金属键合层，所述观察视窗位于底片中心位置；所述盖片与底片通过金属键合层粘结层粘接，所述底片的观察视窗与所述盖片的电子束视窗垂直对齐，大小一致。该原位液体池芯片以氮化硅薄膜层为支持层，提高成像分辨率，而且可观察样品液层达到50‑2000nm，粘结层密封性好，有效保护电镜，一体化制作方法简便。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 福建;35 |
| 申请人： | 厦门超新芯科技有限公司 |
| 发明人： | 廖洪钢 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-03-12T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-11-29T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910182781.3 |
| 公开号： | CN110514677A |
| 分类号： | G01N23/04(2018.01);G;G01;G01N;G01N23 |
| 申请人地址： | 361000 福建省厦门火炬高新区软件园创新大厦A区801 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
