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一种用于液体颗粒计数器的样品池及其制作方法
| 专利名称： | 一种用于液体颗粒计数器的样品池及其制作方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于液体颗粒计数器的样品池及其制作方法，样品池具有密封的液体通道，包括二个具有狭缝的结构单元，每个结构单元包括石英玻璃层、形成在石英玻璃层表面上且具有第一狭缝的金属薄膜光阑和形成在金属薄膜光阑表面上的光刻胶层，该光刻胶层上对应金属薄膜光阑的第一狭缝的位置形成有第二狭缝，所述第一狭缝和所述第二狭缝共同构成所述狭缝，二个所述结构单元的光刻胶层相键合，二个结构单元的狭缝共同构成所述液体通道。具有本发明结构的样品池，可通过MEMS的加工工艺来制造，制作出传统加工工艺无法得到的微小液体通道，并且液体通道的形状和大小可以被精确的控制，有利于提高液体颗粒检测的灵敏度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 江苏苏净集团有限公司 |
| 发明人： | 孙吉勇;沈玮栋;梁凤飞;周大农;王佳琦 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2011-10-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201110331096.6 |
| 公开号： | CN102507419A |
| 代理机构： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 |
| 代理人： | 孙仿卫;汪青 |
| 分类号： | G01N15/14(2006.01)I |
| 申请人地址： | 215122 江苏省苏州市苏州工业园区唯新路2号 |
| 主权项： | ?一种用于液体颗粒计数器的样品池，其具有密封的液体通道，其特征在于：所述样品池包括二个具有狭缝的结构单元，每个所述的具有狭缝的结构单元包括石英玻璃层、形成在所述石英玻璃层表面上且具有第一狭缝的金属薄膜光阑和形成在所述金属薄膜光阑表面上的光刻胶层，所述光刻胶层上对应所述金属薄膜光阑的第一狭缝的位置形成有第二狭缝，所述第一狭缝和所述第二狭缝共同构成所述狭缝，二个所述结构单元的光刻胶层相键合，二个所述结构单元的所述狭缝共同构成所述的液体通道。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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