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一种掺氟氧化锡镀膜玻璃的光学参数检测方法
| 专利名称： | 一种掺氟氧化锡镀膜玻璃的光学参数检测方法 |
| 摘要： | 本发明公开一种掺氟氧化锡镀膜玻璃的光学参数检测方法，该方法利用椭圆偏振光谱仪测试掺氟氧化锡镀膜玻璃的椭偏参数，建立梯度层与粗糙层双层膜系结构模型及各层对应色散模型，梯度层的模型为随着掺氟氧化锡镀膜厚度的增加，从底层的介电材料渐变为顶层的透明导电材料。通过迭代回归椭偏光谱，获得掺氟氧化锡薄膜的结构及各层的光学参数。本发明仅采用椭偏光学测试手段便可测量非均质掺氟氧化锡薄膜结构和光学参数，对样品无损伤、无接触、测量耗时少，测试方法简便、快捷，且对被测样品表面无特殊要求，十分适合于在线低辐射节能镀膜玻璃的性能在线检测及监控。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 浙江大学 |
| 发明人： | 刘涌;李有多;林威豪;马晔城;韩高荣;汪建勋 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-08-23T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-11-29T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910783766.4 |
| 公开号： | CN110514599A |
| 代理机构： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 胡红娟 |
| 分类号： | G01N21/21(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 310013 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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