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蚀刻时间侦测方法及蚀刻时间侦测系统
| 专利名称： | 蚀刻时间侦测方法及蚀刻时间侦测系统 |
| 摘要： | 一种蚀刻时间侦测方法，包括以下步骤：依据配方数据执行蚀刻制程；于蚀刻时间中的判断时间内接收由数组光感测元件所传输的透光率数值；依据配方数据，分别撷取由各组光感测元件所传输的数个透光率数值，以产生相应的数个计算数值；于判断时间内处理计算数值，以产生相应各组光感测元件的数值分布数据；以及比对数值分布数据，以决定一过蚀刻时间。此外，一种蚀刻时间侦测系统亦被提出。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 中国台湾;71 |
| 申请人： | 亚智科技股份有限公司 |
| 发明人： | 萧郁伦 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-09-12T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-03T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201811063659.6 |
| 公开号： | CN110530825A |
| 代理机构： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 程殿军 |
| 分类号： | G01N21/59(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 中国台湾桃园县中坜市自强三路三号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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