专利名称: | 一种升华型基质沉积装置 |
摘要: | 本公开提供了一种升华型基质沉积装置,包括可密封的升华器室;所述升华器室底部设置有基质托盘,所述基质托盘上设置有基质容纳器,所述基质容纳器用于盛放基质的同时,限制基质升华路径;所述基质容纳器底部设置有加热装置;所述升华器室还连接有基质温控模块,所述基质温控模块与第一测温模块相连,所述基质容纳器顶部连接有样品架,所述样品架与冷却装置相连。 |
专利类型: | 实用新型 |
国家地区组织代码: | 山东;37 |
申请人: | 山东省分析测试中心 |
发明人: | 陈相峰;何启川;谢含仪;李慧娟;赵燕芳;赵梅 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2019-04-22T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-12-03T00:00:00+0800 |
申请号: | CN201920554927.8 |
公开号: | CN209727582U |
代理机构: | 济南圣达知识产权代理有限公司 |
代理人: | 张庆骞 |
分类号: | G01N1/28(2006.01);G;G01;G01N;G01N1 |
申请人地址: | 250014 山东省济南市历下区科院路19号 |
所属类别: | 实用新型 |