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原文传递一种升华型基质沉积装置

专利名称：	一种升华型基质沉积装置
摘要：	本公开提供了一种升华型基质沉积装置，包括可密封的升华器室；所述升华器室底部设置有基质托盘，所述基质托盘上设置有基质容纳器，所述基质容纳器用于盛放基质的同时，限制基质升华路径；所述基质容纳器底部设置有加热装置；所述升华器室还连接有基质温控模块，所述基质温控模块与第一测温模块相连，所述基质容纳器顶部连接有样品架，所述样品架与冷却装置相连。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	山东;37
申请人：	山东省分析测试中心
发明人：	陈相峰;何启川;谢含仪;李慧娟;赵燕芳;赵梅
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-03T00:00:00+0800
申请号：	CN201920554927.8
公开号：	CN209727582U
代理机构：	济南圣达知识产权代理有限公司
代理人：	张庆骞
分类号：	G01N1/28(2006.01);G;G01;G01N;G01N1
申请人地址：	250014 山东省济南市历下区科院路19号
所属类别：	实用新型