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原文传递透射小角度X射线散射计量系统

专利名称：	透射小角度X射线散射计量系统
摘要：	本文中描述用于通过具有相对小工具占用面积的透射小角度x射线散射测量TSAXS系统表征半导体装置的尺寸及材料性质的方法及系统。本文中描述的所述方法及系统实现适合用于具有减小的光学路径长度的半导体结构的计量的Q空间分辨率。一般来说，所述x射线光束针对相对小目标经聚焦更接近晶片表面且针对相对大目标经聚焦更接近检测器。在一些实施例中，采用具有小点扩散函数PSF的高分辨率检测器以缓解对可实现Q分辨率的检测器PSF限制。在一些实施例中，所述检测器通过确定由光子转换事件刺激的电子云的质心而以子像素准确度定位入射光子。在一些实施例中，除了入射位置之外，所述检测器还分辨一或多个x射线光子能量。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	美国;US
申请人：	科磊股份有限公司
发明人：	A·舒杰葛洛夫;A·吉里纽;S·佐卢布斯基
专利状态：	有效
申请日期：	2018-04-13T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-06T00:00:00+0800
申请号：	CN201880023876.4
公开号：	CN110546489A
代理机构：	北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人：	刘丽楠
分类号：	G01N23/201(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	美国加利福尼亚州
所属类别：	发明专利