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原文传递用于小角X射线散射测量的X射线源光学器件

专利名称：	用于小角X射线散射测量的X射线源光学器件
摘要：	本申请涉及用于小角X射线散射测量的X射线源光学器件。X射线装置包括支架、X射线源、检测器和限束器。支架被配置为保持平面样本。X射线源被配置成朝着样本的第一侧引导X射线的波束。检测器位于样本的与第一侧相对的第二侧上，以便接收通过样本透射的X射线的至少一部分。限束器位于样本的第一侧上，以便拦截X射线的波束。限束器包括第一叶片和第二叶片以及第一致动器和第二致动器。第一叶片和第二叶片具有定位成相互靠近的相应的第一和第二边缘，以便在与样本的第一侧相距小于25毫米的距离处限定X射线的波束将穿过的狭缝。第一致动器和第二致动器被配置成沿着相应的第一平移轴和第二平移轴移位第一叶片和第二叶片，以便调整狭缝的宽度。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	以色列;IL
申请人：	布鲁克杰维以色列公司
发明人：	马修·沃明顿;亚历山大·克罗赫马尔;尤里·文施泰因
专利状态：	有效
申请日期：	2019-04-23T00:00:00+0800
发布日期：	2019-11-01T00:00:00+0800
申请号：	CN201910330450.X
公开号：	CN110398507A
代理机构：	北京安信方达知识产权代理有限公司
代理人：	王红英;杨明钊
分类号：	G01N23/20008(2018.01);G;G01;G01N;G01N23
申请人地址：	以色列米格达勒埃梅克
主权项：	1.一种X射线装置，包括：支架，其被配置为保持平面样本； X射线源，其被配置成朝着所述样本的第一侧引导X射线的波束；检测器，其被定位于所述样本的与所述第一侧相对的第二侧上，以便接收透射穿过所述样本的所述X射线的至少一部分；以及限束器，其被定位于所述样本的所述第一侧上以便拦截所述X射线的所述波束，且所述限速器包括：第一叶片和第二叶片，所述第一叶片和所述第二叶片具有被定位成相互靠近的相应的第一边缘和第二边缘，以便在与所述样本的所述第一侧相距小于25毫米的距离处限定狭缝，所述X射线的所述波束将穿过所述狭缝；以及第一致动器和第二致动器，所述第一致动器和所述第二致动器被配置成沿着相应的第一平移轴和第二平移轴移位所述第一叶片和所述第二叶片，以便调整所述狭缝的宽度。 2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述支架被配置成围绕在所述样本的平面中的倾斜轴使所述样本倾斜，并且其中，所述狭缝被定向成平行于所述倾斜轴。 3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一叶片和所述第二叶片包括由单晶材料或多晶材料制成的材料。 4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一叶片和所述第二叶片彼此不平行。 5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一平移轴和所述第二平移轴彼此不平行。 6.根据权利要求1所述的装置，其中，所述限束器被配置成控制至少一个波束参数，所述至少一个波束参数选自包括下列项的列表：(i)所述波束的位置，(ii)所述波束的光斑尺寸，(iii)在所述样本的所述第一侧上的所述波束的光斑形状，以及(iv)所述波束的会聚角或发散角。 7.根据权利要求1所述的装置，其中，所述限束器被安装在平台上，所述平台被配置为相对于所述波束和所述样本中的至少一者移动所述限束器。 8.根据权利要求7所述的装置，其中，所述平台包括至少一个旋转平台。 9.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一致动器和所述第二致动器中的至少一个包括一个或更多个压电线性电机。 10.根据权利要求1所述的装置，且包括具有相应的第一板边缘和第二板边缘的第一可移动板和第二可移动板，所述第一板边缘和所述第二板边缘被定位成相互靠近，以便限定所述X射线的所述波束在穿过所述狭缝之前或之后将穿过的附加狭缝。 11.根据权利要求10所述的装置，且包括第三致动器，所述第三致动器被配置为沿着第三平移轴移位所述第一可移动板和所述第二可移动板中的至少一个，以便调整所述附加狭缝的尺寸。 12.根据权利要求10所述的装置，且包括处理器，所述处理器被配置为通过将所述狭缝和所述附加狭缝的位置相对于彼此对准来使所述X射线的所述波束成形。 13.一种方法，包括：将平面样本保持在支架上；朝着所述样本的第一侧从X射线源引导X射线的波束；从被定位于所述样本的与所述第一侧相对的第二侧上的检测器接收透射穿过所述样本的所述X射线的至少一部分；将限束器定位在所述样本的所述第一侧上，以便拦截所述X射线的所述波束，所述限束器包括第一叶片和第二叶片以及第一致动器和第二致动器，所述第一叶片和所述第二叶片具有相应的第一边缘和第二边缘，所述第一边缘和第二边缘被定位成相互靠近，以便在与所述样本的所述第一侧相距小于25毫米的距离处限定所述X射线的所述波束将穿过的狭缝；以及通过使用所述第一致动器和所述第二致动器沿着相应的第一平移轴和第二平移轴移位所述第一叶片和所述第二叶片来调整所述狭缝的宽度。 14.根据权利要求13所述的方法，其中，保持所述平面样本包括围绕在所述样本的平面中的倾斜轴使所述样本倾斜，以及将所述狭缝定向成平行于所述倾斜轴。 15.根据权利要求13所述的方法，其中，所述第一叶片和所述第二叶片包括由单晶材料或多晶材料制成的材料。 16.根据权利要求13所述的方法，其中，调整所述宽度包括将所述第一叶片和所述第二叶片定位成彼此不平行。 17.根据权利要求13所述的方法，其中，调整所述宽度包括沿着彼此不平行的所述第一平移轴和所述第二平移轴移位所述第一叶片和所述第二叶片。 18.根据权利要求13所述的方法，其中，调整所述宽度包括控制至少一个波束参数，所述至少一个波束参数选自包括下列项的列表：(i)所述波束的位置，(ii)所述波束的光斑尺寸，(iii)在所述样本的所述第一侧上的所述波束的光斑形状，以及(iv)所述波束的会聚角或发散角。 19.根据权利要求13所述的方法，其中，定位所述限束器包括将所述限束器安装在平台上，用于相对于所述波束和所述样本中的至少一者移动所述限束器。 20.根据权利要求19所述的方法，其中，移动所述限束器包括旋转所述限束器。 21.根据权利要求13所述的方法，其中，所述第一致动器和所述第二致动器中的至少一个包括一个或更多个压电线性电机。 22.根据权利要求13所述的方法，且包括通过将相应的第一可移动板和相应的第二可移动板的第一板边缘和第二板边缘定位成相互靠近来限定所述X射线的所述波束在穿过所述狭缝之前或之后将穿过的附加狭缝。 23.根据权利要求22所述的方法，且包括通过沿着第三平移轴移位所述第一可移动板和第二可移动板中的至少一个来调整所述附加狭缝的尺寸。 24.根据权利要求22所述的方法，且包括通过将所述狭缝和所述附加狭缝的位置相对于彼此对准来使所述X射线的所述波束成形。 25.一种X射线光学设备，包括：晶体，所述晶体包含通道，所述通道具有入口孔径、出口孔径和布置成使得所述通道从所述入口孔径到所述出口孔径逐渐变细的相对的内部面； X射线反射镜，其包括具有多层涂层的弯曲基底，所述X射线反射镜被配置成收集从源发射的X射线的波束并将所述X射线的所述波束引导到所述通道的具有第一波束直径的所述入口孔径内，使得所述波束从具有小于所述第一波束直径的第二波束直径的所述出口孔径发射；以及一个或更多个狭缝，所述一个或更多个狭缝插在所述X射线反射镜和所述晶体之间，使得所述波束在进入所述通道的所述入口孔径之前穿过所述狭缝。 26.根据权利要求25所述的设备，其中，所述X射线反射镜被配置成调整所述波束的发散度和强度。 27.根据权利要求25所述的设备，且包括：叶片，其具有穿过所述叶片的不同的相应尺寸的孔径的阵列；以及致动器，其被配置成将所述叶片定位在从所述晶体的所述出口孔径发射的所述波束的路径中，并且平移所述叶片以便将不同的孔径定位在所述路径中。 28.根据权利要求25所述的设备，其中，所述晶体包括由锗制成的单晶体。 29.根据权利要求25所述的设备，其中，所述相对的内部面彼此不平行。
所属类别：	发明专利